22.静电防护管理程序

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1、程序文件DocumentofProcedure文件编号：QP-755-22版次：A/1第1页共9页静电防护管理程序文件编号：QP-755-22文件版次：A/1生效日期：2012-07-01文件受控印章：文件分发部门：□总经理□管理者代表□业务部□资材部□研发部□工程部□品质部□生产部□人力资源部□其他(　　　)编制审核批准静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版次：A/1第2页共9页版次修改原因/修改内容生效日期批准人静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版次：A/1第3页共9页1.1.0目的防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使静电放电防

2、护工作具有较强的可操作性。2.0适用范围从静电敏感器件进货到产品形成的全过程。3.0定义3.1静电放电（ESD）处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。3.2静电敏感器件（ESDS）在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。4.0职责4.1工程部确定静电防护控制点、区域和控制要求；4.2仓库负责静电敏感器件的静电防护,品质部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产车间负责生产过程中的静电防护；4.3电工负责对接地主干线的检测和维护,一般每一年一次检测（特殊情况可作调整）；各部门负责本部门静电地线与设

3、备地线的检验和维护；4.4工厂各车间日常点检工作由生产车间指点人员进行，工程部、品质部、资材部由各部门指定人员进行；4.5工程部负责ESD防护措施的抽检抽查；每月一次。4.6静电防护的控制点和区域组装车间、包装车间、电子料仓、组装料仓；5.0静电说明5.1静电的发生及带电5.1.1静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒，由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带

4、电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。5.1.2静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。5.1.3接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.5×10-8cm时在其间即发生电子的转移界面静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版次：A/1第4页共9页两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷；5.1.4感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出

5、不同符号的电荷；5.1.5剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电；5.1.6摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移。5.1.7静电的危害5.1.8对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的电击。5.1.9对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：①突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；②潜在性缓

6、慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。5.2绝缘体与导体5.2.1绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1012Ω。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态；如：普通塑料制品、乙烯等。5.2.2导体一般表面电阻率在105Ω以下，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。5.3防静电材料根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。静电绝缘材料：表面电阻率≥1012Ω；静电耗散材料：表面电阻率105-1011Ω；静电导电材料：表面电阻率103-105Ω；静

7、电屏蔽材料：表面电阻率＜103Ω；5.4静电发生源5.4.1人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。5.4.2环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。5.4.3材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。静电防护管理程序文件编号：QP-755-22版次：A/1第5页共9页表1常见物体的静电发生序列序号材料序号材料1空气12棉布2人手13钢3兔毛14木材4玻璃15琥珀5云母16硬橡胶6头发17镍、铜7尼龙18黄铜、银8羊毛19聚脂人造纤维9丝绸20聚乙烯10铝21聚丙烯11纸22聚