博士论文开题报告-文献综述

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1、博士论文开题报告-文献综述    文献综述  学号:研究生:导师:研究方向:论文题目:学科:学院:入学时间:开题时间:  材料学材料科学与工程系20xx年9月20xx年10月20日  0040509010王新建  吴建生教授姜传海教授  材料科学  年月日      0引言............................................................................................................................1  1.大规模集成电路的发展以及铜

2、互连工艺的概述..................................................2  .大规模集成电路的发展概况..........................................................................................2  .ULSI中铝互连线的博士论文开题报告-文献综述    文献综述  学号:研究生:导师:研究方向:论文题目:学科:学院:入学时间:开题时间:  材料学材料科学与工程系20xx年9月20xx年10月20日  0040509010

3、王新建  吴建生教授姜传海教授  材料科学  年月日      0引言............................................................................................................................1  1.大规模集成电路的发展以及铜互连工艺的概述..................................................2  .大规模集成电路的发展概况.............................

4、.............................................................2  .ULSI中铝互连线的博士论文开题报告-文献综述    文献综述  学号:研究生:导师:研究方向:论文题目:学科:学院:入学时间:开题时间:  材料学材料科学与工程系20xx年9月20xx年10月20日  0040509010王新建  吴建生教授姜传海教授  材料科学  年月日      0引言...................................................................

5、.........................................................1  1.大规模集成电路的发展以及铜互连工艺的概述..................................................2  .大规模集成电路的发展概况..........................................................................................2  .ULSI中铝互连线的博士论文开题报告-文献综述    文献综述  学号:研

6、究生:导师:研究方向:论文题目:学科:学院:入学时间:开题时间:  材料学材料科学与工程系20xx年9月20xx年10月20日  0040509010王新建  吴建生教授姜传海教授  材料科学  年月日      0引言............................................................................................................................1  1.大规模集成电路的发展以及铜互连工艺的概述....................

7、..............................2  .大规模集成电路的发展概况..........................................................................................2  .ULSI中铝互连线的发展................................................................................................4  .ULSI中铜互连线工艺的提出、发展及存在的问题....

8、...............................................

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