射频溅射制备znoal透明导电薄膜及性能研究 射频溅射制备znoal透明导电薄膜及性能研究1

《射频溅射制备znoal透明导电薄膜及性能研究 射频溅射制备znoal透明导电薄膜及性能研究1》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、中南大学硕士论文摘要本文首先对透明导电薄膜(TcO)的发展进行了总结，讨论了铝搀杂氧化锌薄膜(AZO)的性能优点，之后对AZO薄膜的晶体结构、搀杂、制备方法、用途进行了综合描述，并指出了透明导电薄膜的发展趋势。在此基础上，使用射频磁控溅射的方法在聚酯(PET)胶片表面沉积了AzO薄膜，通过改变沉积压强，射频功率等参数，使薄膜出现了不同的形貌，织构和不同的光学、电学性能，并使用原子力显微镜(AFM)、x射线衍射仪(xRD)、能谱仪(EDs)、分光光度计和方阻测量装置对薄膜的结构和性能进行了测试，得到了以下的结论：1．Ar压强对薄膜的结构，形貌和光电性能等有重大的影响。当沉积压强从O．2Pa升高到

2、2．OPa时，得到以下的研究结果：1)由于碰撞次数的增加，薄膜的厚度减小，沉积速率下降；2)AzO薄膜的颗粒尺寸明显变大，薄膜的表面粗糙度也大大的增加；3)EDS分析表明，薄膜的组成变化比较复杂，zn／Al的原子比在1．5Pa附近有一个最大值：4)AZ0薄膜的方阻迅速增加，电阻率也迅速增大，在O．2Pa下最小电阻率为3×101Qcm；5)在各个压强下制备AZO薄膜的可见光透过率能达到90％以上，禁带宽度明显减小，蓝移现象很明显。2．随着射频功率的增加，我们发现：1)薄膜的厚度和生长速度均迅速上升；2)薄膜的颗粒尺寸先减小，之后由于衬底温度的交叉影响，又开始增大，但是薄膜的表面粗糙度则呈上升趋势

3、；3)在125～150w之间，zn／Al的原子比有一个最小值，这里最接近靶材的成分；4)AzO薄膜的方阻和电阻率都迅速减小：5)功率对薄膜的透光曲线的形状影响很大，低的功率下制备的薄膜的透光范围更大，禁带宽度也越大。关键字：AzO、薄膜、射频溅射、透明导电。中南大掌硕士论文摘要AbstractAtflrstthedeVelopmentof订ansparentconductiVeoxidefjlmissummarizedandtheadvamagesofalumini哪dopedziIlcoxide(AZO)filmarediscussedintllispaper．Thenthcrcsearch

4、ofAZO，suchascrystal咖cture，dop血g，prepannentandusageisdiscriped．R．Fmagne订on印删eril唱isemployedtod印ositAZOfilmsonPETflake．Thefilmsshowdi髓remstructurc，texmrea11doptoelec埘cpropenieswimtllechangeofsputteringp猢eterS，suchaswDrkpresuureandR．Fpower．M锄ytypesofeqllipment，SuchasAFM，)am，EDS，spec订Dmeterandsheetresis

5、t孤ceprobeareusedtomeasueretl】esmlctllreandpropeniesof面∞oxidefilms；finallywegetseVeralconclusionsasfollowing：1．TheArpressurchas掣eat血nuenceOnt11es衄Icture，mo印hologyandpmpertiesofthefilms．Whenthepressllreincrcasesf幻mO．2Pato2．0Pa，someconcIusionsasfollowingcanbefound．1)nlefilIIl也icknessaIldthedecresesbeca

6、Ilsemecollisiontimesmcrease．2)’11lediameterofpaniclesa11droughnessofAzOfilmincreased掣eately．3)EDSresultsshow也砒血ecompositionchangeoft11efiImiscomplicate，buttlleatomratioofZI仇Ureachesmaximumat1．5Pa．4)Thesheetrisis切ncea11drisistiVityoftllefihns抽creasegreaⅡy，atO．2PawecatlgettherisistiVi谚asIowas3×1O’斗Qcm

7、．5)AlJthe丘lmspr印aredhastlle仃；ms群mencyof90％inthcvisjblerange，thebandbecomesna啪waIldtheblucshiRisveryclear．2．AstheR．Fpowerincrcase，Wecouldfindth砒：1)nlefilmt11icknessandgr0血rateincreasegreatly．2)Thepanic