【8A文】PECVD培训资料.ppt

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1、PECVD培训资料顾孝明一：我们公司现有PECVD两种机型岛津PECVDRoth&RauPECVDPECVD=PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积，其它的有HWCVD，LPCVD，MOCVD等。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。漏气真空问题磁控管微波电源问题加热板加热管问题控制电路问题安全事项PECVD常见故障漏气真空问题岛津PECVD岛津工艺腔岛津进料出料腔漏气真

2、空问题岛津PECVD漏气真空问题真空泵问题岛津PECVD爱发科油泵岛津PECVD爱发科增压泵真空泵问题Roth&RauPECVD爱德华GV600干泵岛津PECVD普旭DS160干泵真空泵问题Roth&RauPECVD爱德华GV600干泵冷却水流量计Roth&RauPECVD爱德华GV600干泵氮气压力计漏气真空问题岛津PECVD角阀Roth&RauPECVD磁流体漏气真空问题Roth&RauPECVD角阀微波法兰漏气真空问题岛津PECVDH/C腔侧门及密封圈岛津PECVD磁流体漏气真空问题Roth&RauPECVD密封圈磁控管微波电源Roth&RauPECVD磁控

3、头Roth&RauPECVD磁控管磁控管微波电源Roth&RauPECVD微波电源射频电源岛津ＰＥＣＶＤ使用的射频电源磁控管微波电源Roth&RauPECVDU型槽加热板加热管问题Roth&RauPECVD接触器接触器加热板加热管问题Roth&RauPECVD加热板损坏后报警加热板加热管问题Roth&RauPECVD加热温控加热板加热管问题Roth&RauPECVD加热板法兰盘不要敲击加热板加热管问题Roth&RauPECVD加热板Roth&RauPECVD进料腔加热管陶瓷护套耐高温及绝缘加热板加热管问题Roth&RauPECVD进料腔加热管控制岛津PECVD电极

4、板放电现象各盖板电机升降信号控制继电器各侧门打开关闭信号控制继电器电极板放电岛津PECVD电极板放电现象电极板放电后的电极板正常电极板镀膜的片子正常情况下的电极板正常镀膜的片子石墨框正常情况下的电极板Roth&RauPECVD5*6的框特气柜岛津特气柜里的流量计、气动阀及手动阀特气柜Roth&RauPECVD特气柜里的特气单向阀安全事项使用和维护本设备时必须严格遵守操作规程和安全规则，因为：本设备的工艺气体为SiH4和NH3，二者均有毒，且SiH4易燃易爆。本设备运行时会产生微波辐射，每次维护后和停机一段时间再开机前都要检测微波是否泄漏。以上谢谢！