晶硅太阳能电池表面钝化薄膜和机理的研究

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1、分类号：Q垒25UDC：530密级：公珏编号：——晶硅太阳能电池表面钝化薄膜和机理的研究Thestudyformechanismandsurfacepassivationoffdmaboutcrystallinesiliconsolarcells学位授予单位及代码：篮查堡王太堂(!Q!墨鱼2学科专业名称及代码：物理电王堂!Q22三Q12研究方向：出电盛堡墨鲑量堇查申请学位级别：亟±论文起止时间：2012．9—2013．12长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《晶硅太阳能电池表面钝化薄膜和机理的研究》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果

2、。除文中己经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：豸雌也型年玉月卫日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用

3、影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：乏皑堑导师签名：趔丝!怿上月兰日鲨丝年土月羔日摘要近年来，随着太阳能技术的蓬勃发展，在人们的日常生活中，太阳能电池应用的领域越来越广泛，而目前应用最多的就是硅太阳能电池。而如何降低晶硅太阳能电池的表面复合速率，提高光电转换效率成为目前人们研究的热点。氧化铝薄膜具有介电常数高，热稳定性好，制备温度较低等优点，而且能有效降低晶硅表面的复合速率，提升电池转换效率，非常适合作为晶硅太阳能电池表面的钝化薄膜。本文主要研究了利用溶胶．凝胶技术在晶硅太阳能电池上制备氧化铝薄膜，并对几种主要的钝化薄膜的钝化机理进行研究，通过对实验过程中工艺参数的

4、控制来得到不同质量的氧化铝薄膜，并对制备的氧化铝薄膜进行研究测试分析。本文首先介绍了太阳能电池及太阳能电池表面钝化的发展状况，阐述了太阳能电池原理和太阳能电池表面钝化的原理，以及C．V法测试MIS结构的原理。成功在晶硅太阳能电池表面制备出高性能的氧化铝钝化薄膜，其中，测试得到的薄膜参数为：透过率达到95．6％，截止频率约为2×105Hz，界面态密度为5．82×1011cm乏eV～。通过分析得到氧化铝薄膜的钝化效果与制作过程中的工艺参数密切相关。在一定条件下，氧化铝薄膜的厚度越厚，溶液浓度越高，退火温度越高，退火时间越长，得到的薄膜质量会越好，对晶硅太阳能电池表面的钝化效果也就越优异。关

5、键词：晶硅太阳能电池表面钝化溶胶一凝胶氧化铝薄膜ABSTRACTSummaryinrecentyears，withthedevelopmentofsolartechnology,peopleintheirdailylifeinthesolarcellapplicationsmoreandmorewidely,butmostofthecurrentapplicationistheSiliconcells．Andhowtodecreasesurfacerecombinationvelocityofthesolar,increasetheefficiencyofthephotovoltaic

6、conversionintocurrentresearch．Aluminumoxidefilmhavingahighdielectricconstant，goodthermalstability,lowerpreparationtemperature，etc，anditcarleffectivelydecreasethecrystallinesilicon’Ssurfacerecombinationvelocityandimprovetheefficiencyofsolarcell’Sconversionefficiency．FortheSiliconcells，aluminumoxi

7、defilmisverysuitableassurfacepassivationfilm．Overall，thispaperstudiesthepreparationofaluminafilmsoncrystallinesiliconsolarcells谢tllthesol—gelmethod，andwealsoexamineseveralmajorfilm’Sthemechanismofpassivation．Throughthecontro