新型tio2基透明导电薄膜及其在紫外光电探测器中的应用

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1、分类号：密级：山东大学硕士学位论文单位代码：10422学号：201111399∥菇办孑硕士学位论文论文题目：新型Ti02基透明导电薄膜及其在紫外光电探测器中的应用ThenovelTi02一basedtransparentconductivethinfilmsandtheirpplication。UVtlielraIlCat)onInUVD’hot‘odlet‘ect‘orD合作导师V1U年S月日山东大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容

2、外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。论文作者签名：殛刿一日飙边哗酬g关于学位论文使用授权的声明本人完全了解山东大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权山东大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。(保密论文在解密后应遵守此规定)论文作者签名：殛埘导师签名

3、：山东大学硕士学位论文II目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一iABSTRACT⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯iii第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一l第一节课题研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．11．1．1透明导电氧化物薄膜的研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯l1．1．2透明导电氧化物薄膜的机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯21．1．3紫外(uv)光电探测器简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

4、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯5第二节Ti02基透明导电氧化物薄膜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯61．2。1Ti02的晶体结构和能带结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯61．2．2TiO：基透明导电氧化物的研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．81．2．3新型透明导电材料Til。W。O：的研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．11第三节Ti02基紫外(uV)光电探测器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一131．3．1Ti02基uV探测器的研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯131．3．2Ti02基透明导电薄膜在uV探测器中应用的设计原理⋯⋯

5、⋯⋯⋯⋯13第四节本论文的研究动机及研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一15第二章实验样品的制备技术与测试分析仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．16第一节脉冲激光沉积(PLD)技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．162．1．1脉冲激光沉积的原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯172．1．2脉冲激光沉积的优缺点⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯192．1．3实验室用激光脉冲沉积设备简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯20第二节试验样品测试分析仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯222．2．1薄膜样品结构

6、物性分析仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯222．2．2Ti02薄膜uV探测器性能测试分析仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．22第三章新型透明导电材料Ti，．。wxo：外延生长及物性研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．24第一节前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯24第二节样品制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯253．2．1靶材的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯25山东大学硕士学位论文3．2．2衬底的选择⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．263．2．3生长前衬

7、底的处理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．26，3．2．4样品的生长条件选择⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．26第三节实验结果讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯273．3．1不同生长氧分压的Tb9Woo。02薄膜材料的性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．273．3．2不同生长温度的Ti。鲫W。。，02薄膜材料的性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．313．3．3TiO：：w薄膜材料体系的结构及物理性质表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．34第四节本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯40第四章Ti∞，Nb

8、。∞02透明导电薄膜在Ti02薄膜紫外(UV)光电探测器中的应用．⋯．．⋯．．⋯．⋯．．．．⋯．⋯．⋯．⋯⋯．⋯．⋯⋯．．⋯．⋯．．．⋯．⋯．．⋯．．⋯．⋯．⋯⋯⋯⋯．⋯⋯．⋯⋯．⋯．⋯．．⋯⋯．．⋯．．z}1第一节前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯4