资源描述：
《百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第29卷第1期微 电 子 技 术总第137期Vo.29.No.1MICROELECTRONICTECHNOLOGY2001年2月企业管理百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法陈 球(中国华晶电子集团公司动力工厂,无锡 214061)摘 要: 探讨在百级洁净室处理洁净度异常问题的思路、方法和手段。关键词:单向流;洁净度;污染;漏泄中图分类号:TN305.97 文献标识码:A 文章编号:100820147(2001)01260205CauseandApproachtoCleanlinessAbnormalityinClass100CleanRoomCHENQiu(Motivepower
2、FactoryChinaHuajingElectronicsGroupCorporation,Wuxi214061,China)Abstract:ProbesintotheapproachtocleanlinessabnormalityinClass100cleanroom.Keywords:Unidirectionalflow;Contamination;Cleanliness;Leakage水平,是满足日益增长的圆片工艺发展的必要条1 前言件。超大规模集成电路技术的迅速发展,促使工艺2 洁净度控制的基本原理对圆片生产环境提出更高的要求。尤其是随着集成度的增加,圆片加工次数的增多,
3、圆片受污染的可控制洁净度的全过程,实质上就是围绕控制产能性也在成倍增加。加之圆片的加工尺寸已进入亚尘、有效排尘和积极阻尘这二大环节,对污染实施微米时代,加工环境受控微粒的特征尺寸已随之细的全面控制。化,圆片成品率对环境洁净度的依赖性日趋加强。我们通过下列手段来实现对污染的控制,并通据分析,圆片的成品率与圆片的缺陷密度息息相过测试仪器定期的监测来检验我们控制的效果:在关,而圆片的缺陷密度又与空气中的粒子个数有洁净室内维持某一个高于邻室空气压力并且保证末关。因此,控制生产环境中特征尺寸的微粒个数显端过滤装置无泄漏(阻止室外的污染入侵室内);得十分重要。有效排尘及合理的气流组织(有效遏制污
4、染气流在我公司七·五工程中建成并投入使用的百级洁工作区的扩散);加强对进入洁净室的人身净化管2净室数十个,百级净化面积已愈2000m。控制这理(减少污染的带入);设备的布局力求不对室内些洁净室工作区的洁净度,并使其维持在设计要求气流状态产生大的扰动。 收稿日期:2000-10-12 第1期 陈 球:百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法 61 借鉴先进半导体生产企业的管理经验,结合我的自净,洁净度又恢复正常。公司净化间圆片最小加工线宽为019μm的现状,因此,对于同一检测点上非连续采样时间内的我们将洁净度监测周期定为1次/2周,工作区内采样结果较为悬
5、殊,如同一检测点上间隔4小时甚受控粒子及粒子个数为≥0112μm不高于100个/至24小时的测试结果差别很大的这一类异常,我-2321832×10m。们判定其原因是洁净室内短时间内人、物流入总量对定期洁净度监测中发现的≥0112μm含尘浓的产尘量超过室内气流净化能力。-23度高于100个/21832×10m的局部区域,我们都313 对洁净室内平行流场中污染分布范围的研究认定为区域污染没有被控制住。表明(1)在平行流流场中,对污染控制影响最大的3 洁净度异常的成因诊断及诊断依据是气流携带微粒运动的力—气流力。(2)在仅考虑气流力作用下,当送风气流等于在正常情况下,百级洁净室高达数百次的
6、换气污染气流时,污染将被抑止在一定的范围内而不扩次数及良好的气流平行性完全能够将那些工作区的散,范围的大小与送风气流速度、污染流量有关。正常产尘如设备机械摩擦、人的操作及行走产生的假如我们将洁净室的污染源作为一个点源整体灰尘迅速带走,使得离地1m以上的工作区的灰尘来考虑并假设污染源外形为球状,在下图中当送风浓度维持在允许范围。气流等于污染气流时,污染气流将被控制在包络线只要洁净室内出现以下四种情况之一,洁净度为eabcd的曲面体范围内,垂直于Z轴的任意水平水平都有可能下降:①室内尘源的产生速率极快,截面均为圆。见图1。产尘量较大,已无法被平行气流全部带走,相当部分的尘埃滞留在工作区;
7、②送风气流不能产生强有力的活塞作用,无法将灰尘挤压出工作区;③不能维持高于邻室的空气压力;④对进入洁净的人、物净化管理不力,外界污染被大量带入。因此,在洁净室出现洁净度异常时,首先有必要根据检测结果及异常发生的方位、异常区域的大小,将其成因从上述四种中甄别出来。下面我们分四点来讨论如何诊断异常成因。311 洁净室与邻室维持一定正压洁净室与邻室维持一定正压的重要作用,在于保证门开启时有足够的气流向外流动,以削减有开门动作或人的进入而带入的气流量。当洁净室静压
