电荷电压法测量DBD等离子体的放电参量

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1、实验技术!电荷电压法测量!"!等离子体的放电参量!，"，#!"""张芝涛$$鲜于泽$$白敏冬$$赵艳辉$$董克兵（!$东北大学理学院$沈阳$!!%%%&）（"$大连海事大学环境研究所$大连$!!&%"&）摘$要$$在’(’应用研究中，使用电荷电压法能够测量许多重要参量，如放电功率、放电间隙等效电容、电介质层等效电容、着火电压、放电间隙等效电压及放电间隙电场强度等)同时根据电荷电压图形随工作条件及状态变化的情况还可以诊断’(’等离子体的工作稳定性)文章对相关原理、模拟实验结果及实际应用效果进行了介

2、绍)关键词$$介质阻挡放电，等离子体诊断，’(’，电荷电压图形#$%&’()&*$&+*(*&’%(),*’)-.-/0)%$%&’()&1*(()%(0)2&+*(3%4$*25*62).3’+%&+*(3%78-$’*3%/)36(%*+,-.*/01234!，"，#$$56,-781*9!$$(,6:0;1’4;<"$$*+,=73;1+>0"$$’=-.?91(0;<"（!$!"#$$%$&!"’()"(，*$+,#(-.,(+)/)’0(+.’,1，!#()1-)2!!%%%&，3#’

3、)-）（"$4).,’,5,($&6)0’+$)7(),-%6)2’)((+’)2，8-%’-)9-+’,’7(/)’0(+.’,1，8-%’-)!!&%"&，3#’)-）912’(*&’::@0A/A/9B/3C<91D4EA3<9F0<>C9G3;HI9HJ3C3G9A9CKG3HL94LA30;9MF4CKA>M09K4;A/93JJE0B31A04;K4FM09E9BAC0BL3CC09CM0KB/3C<9（’(’）JE3KG3，K>B/3KA/9M0KB/3C<99;9C

4、3J3B0A3;B9，M09E9BAC0BB3J3B0A3;B9，B>A10;D4EA3<9，<3JD4EA3<9，3;MM0KB/3C<9<3J9E9BAC0BF09EM),AA/9K3G9A0G9A/9KA3L0E0AH4F’(’JE3KG3B3;L9M03<;4K9MLHA/9B/3C<91D4EA3<9F0<>C9N/0B/B/3;<9KN0A/B/3;<9K0;A/94J9C3A04;B4;M01A04;K)2/9>;M9CEH0;

5、>E3A04;C9K>EAK3;M3BA>3E3JJE0B3A04;M9D9E4JG9;AK3C9M9K1BC0L9M);%<=-(02::M09E9BAC0BL3CC09CM0KB/3C<9，JE3KG3M03<;4KA0B，’(’，B/3C<91D4EA3<9F0<>C9体放电参量的测量与诊断已成为应用研究的瓶颈)!$引言!VRW年，X4K9;A/3E等人用电荷Q电压（:;<）图形法测量了用于材料表面处理的电晕放电功［R］近"%年来，随着介质阻挡放电（M09E9BAC0BL3CC01率，之后

6、又有一些研究者使用这一方法测量了放［Y，V］9CM0KB/3C<9，’(’）技术及其应用研究不断取得进电装置的功率损耗)实际上，利用:;<图形法［!—&］展，越来越需要有相应的技术对’(’等离子体测量’(’等离子体的放电参量就是将一无损耗标的放电参量进行测量与诊断)然而，由于’(’等离准测量电容器串入’(’装置的接地端，通过对外加子体具有独特的微放电特性以及放电装置结构比较激励电压及测量电容器上积累电荷量的测量，可以特殊，常规用于其他等离子体放电特性诊断的方法在示波器上获得一个:;<图形，在较低

7、频率（小于很难在’(’装置上使用，即使仅仅用于放电装置功率测量的功率表测量法、高压侧电流电压测量法等!$国家自然科学基金（批准号：&%%P!%%!）重点资助项目"%%"Q!!Q!P收到初稿，"%%PQ%!Q%R修回在准确性方面也存在一些问题，因此对’(’等离子#$通讯联系人)S1G30E：;9NT/3;·物理实验技术#$&’(）时该图形是一个平行四边形，该平行四边形止到发生的临界电压值（着火电压），&，’两点为微的面积就是)*)等离子体在一个周期内的功率损放

8、电发生到截止的转换电压，其值为外加电压的正、耗+不仅如此，由于!"#图形的几何参数与)*)装负峰值+置的物理结构及运行状态密切相关，因此还可以得出放电间隙等效电容、电介质层等效电容、着火电压、间隙电压、峰值电压及放电间隙电场强度、折合电场强度等放电参量，并根据!"#图形随工作条件及状态的变化还可以判断)*)等离子体的工作稳定性及其变化规律+将高压电桥应用到!"#图形测量电路中，可以更方便地获得放电装置的有效功率+#!电荷电压法测量)*)等离子体放电参量的原理)*)是将电介质绝缘材料插入放电空间的