HDI-012FPC沉铜电镀铜作业指导书

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1、文件更改简历版本更改内容生效tl期A新文件，第-次发行2005年08月01日制订（姓名）Pr（签名）S"（职务）T（日期）DintName：杨戢文控屮心^nature：itle：工程师ite：审（姓名）PrintName:黄进（签名）Signature:（职务）Title:经理（日期）Date:文件会签：fV］生产部丨V］工程部fV］工艺部fV1品质部丨V1计划部丨V1采购部F1维修部丨1行政部丨1市场部fV］FPC部f1资材部［1其它文件分发：rv1生产部2份」丁1工程部1份1丁1工艺部1份rv1品质部1份」丁1计

2、划部1份」丿1采购部1份r1维修部份「1行政部份「1市场部份rv1fpc部1份r1资材部份r1其它份1.0目的:通过化学反应及电化学反应，在钻孔后的产品孔内沉积一层铜，使电路导通，贯穿两面线路。2.0适用范围:适用于源基公司生产各种需要镀通孔产品的安全生产操作。3.0权责：3」工艺部负责WI的编写，并提供技术支援；3.2维修部负责对机器安装及维修；3.3工程部负责对MI和ECN的编写、修改；3.4FPC计划部负责生产的安排，FPC生产部依此WI进行安全的生产操作和机器的日常维护保养;3.5采购部和资材部负责相关物料的

3、准备和成本的监控；3.6FPCQA依此文件进行监控、稽核，作品质确认；3.7各部门负责人负责新进人员的上岗前培训及安全培训和考核。4.0定义：以产品使用说明书作参考，以此wi为作业标准.5.0工艺流程：上板―►除油一—►双水洗.―微蚀—►双水洗—►酸洗-——A双水洗A预浸一—＞活化—►双水洗・―加速一―双水洗一―►沉铜——＞水洗一柠檬酸】一►夹板一—＞酸洗一—►镀铜一-►双水洗一—►卜板6.0操作内容:6.1使用工具:沉铜系列药水、电镀铜药水、沉铜/电镀手动线、FPC专用挂具、FPC专用清洗机、金相显微镜、研磨机.6

4、.2作业前准备：检查项目管道系统缸体化学药水渗漏进出水开关打气系统药液排出阀关闭液位预热/冷却清洁程度按化验单补加注:进产品前检查各药水缸的温度控制达到操作要求后方可生产，否则需继续加热.6.3工序作用及目的：6.3.1除油/调整:用于活化及沉铜前清洁板而污染；6.3.2微蚀:微蚀铜面及除去铜面氧化物，使沉铜附着良好；633双逆水洗:洗净产品上的药液，避免污染下一个药水缸；634酸洗:去铜面上的氧化物，为预浸提供一个清洁的板而；6.3.5双逆水洗:洗净产品上的药液，避免污染预浸缸药水；6.3.6预浸:用于活化前，使活

5、化时铜面药液吸附均匀及减少杂质带入活化缸；6.3.7活化:经活化处理的板，吸附一层催化剂，催化剂在沉铜缸内起催化作用；6.3.8加速:活化缸中吸附的催化剂的活性还原过程；6.3.9沉铜:在催化剂的作用下，铜络合物与还原剂产生氧化还原反应，沉积出单质铜的过程;6.3.9.1酸浸:去除铜面上氧化物的过程，使电镀铜与沉积铜结合良好；6.3.9.2电镀铜:在沉铜基础上，通过电镀使孔壁铜加厚贯穿整个线路。6.4作业参数表:工序缸体（升）温度CC）时间(min)控制范围控制标准开缸量kft2耗量分析频率滴液时间（sec）换缸标准

6、搅拌方法除油10065-755-108-12%10%10L2L/kft21次/夭40Cu2'2g/L循环过滤微蚀10025-351-2APS50-70g/L60g/L12kg2kg/kft21次/天30Cu2+^30g/L打气H2SO43-5%4%4LlL/kft2预浸剂10025-351-2漫预剂100%100%100L1L/kfr1次/20Cg循环过滤酸度0.6-1.2N0.8N夭lg/L比重1.12・1」61」4活化10025-376-12酸度0.6-1.2N0.8N2次/天40循环过滤预浸剂95-97%96%

7、96L活化剂3・5%4%4L0.5L/kft2比逼1.12-1」61.14加速10025-352-5酸度0.3-0.6N0.4N1次/天30循环过滤加速剂14-16%15%15LlL/kft2工序缸体(升)温度(°C)时间(min)控制范围控制标准开缸量kft2耗量分析频率滴液时间(sec)换缸标准搅拌方法化学铜10020-3020沉铜液A:HCHO:7-12g/L9g/L10L沉铜液A:3L/100ft2沉铜液B:3L/100ft21次/2小时40%1三夭倒槽一次；停产时保持轻微打气%1化学铜添加A和B为1:1的比

8、例沉铜液A:Cu2+:2.0-2.8g/L2.2g/L沉铜液B:ONaOH:16-22g/L19g/L10L沉铜液M:EDTA10L沉铜下板下板吋轻拿轻放，先泡在1%柠檬酸溶液，再进行镀铜镀铜上板挂板时轻拿小心操作，注意产品打折酸洗70020-351-22-5%3.5%7L1.5L/kft2无10无电镀300020-3510-20CuSO4・5