智能型氦质谱检漏仪校准规范

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1、HJ-M-187-2009智能型氦质谱检漏仪校准规程2009-11-20发布2009-12-01实施陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部HJ-M-187-2009本规程签署人员编制：校对：审核：审定：标审：批准：发放单位及份数管理室1长度计量室仪器仪表室2理化实验室HJ-M-187-2009代替HJ-M-187-96智能型氦质谱检漏仪校准规程1.范围本规范适用于我公司使用中及修理后的ZLS-24C型和ZLS-26D/T型氦质谱检漏仪的校准。（法国阿尔卡特的ASM182T型氦质谱检漏仪可参照本规范校准）。2.概述氦质谱检漏仪主要包括参考漏孔、节流阀、质谱室

2、、抽气机组（真空部分）、质谱分析器电源、报警器、信号显示（电器部分）。由吸枪或喷枪将通过漏孔漏出的氦气引入质谱室，经过质谱分析，漏气信号的大小由输出指示显示出来，通过校准可计算出漏率值的大小。经过漏孔标定过的检漏仪，即可用来检查产品和器件的微小漏隙。3.引用文件Q/20192316-X-61-2001成都仪器厂企业标准ZLS-26D/T氦质谱检漏仪说明书ASM182T氦质谱检漏仪使用手册陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-20091.技术要求1.1外观质量1.1.1仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。1.1.2仪器上的开关、旋钮

3、和调节机构应安装牢固，转动灵活。1.2绝缘电阻在正常工作条件下，仪器的电源线和机壳之间的绝缘电阻应大于5MΩ。1.3仪器的错、缺相保护功能（ZLS-24C型）使用三相电源的仪器应当有错、缺相保护措施。1.4仪器启动时间（ZLS26D/T型）仪器开机5min后，真空应达到1×10－2Pa（仪器已停机8h但未超过24h，系统保持真空），可以启动灯丝，进行检漏工作。1.5仪器漏率音响报警功能漏率音响报警点应能任意设置。开始报警后，音响的频率应随输出示值的变化而变化。陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-20091.1检漏率仪器的最小可检漏率ZLS-

4、24C型应优于2×10－11Pa.m2.s-1（对空气）ZLS-26D/T型应优于5×10－12Pa.m2.s-1（对空气）ASM182T型应优于5×10－12Pa.m2.s-1（对空气）1.2粗抽到检漏的切换点（ASM182T型无此项）粗抽到检漏的切换点，应能在电阻计指示值为40Pa至0.1Pa的范围内任意设定。1.3加速电压的可调节范围：（100V～200V）±10V（ASM182T型无此项）。1.4发射电流的可调节范围：0.5mA～1.5mA（ASM182T型无此项）。1.5仪器的自身漏隙仪器的高真空系统，不应有对自身喷氦久可以检出的漏隙存在。2

5、.校准环境2.1环境温度：5℃～35℃。2.2相对湿度：≤80％RH。2.3供电电源：380V±38V;220V±22V;50HZ±0.5HZ2.4仪器附近无强的电磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体。陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-20091.校准项目及设备校准项目周期校准修理后校准1外观检查检/2绝缘电阻检检3仪器启动时间检检4仪器漏率音响报警功能检/5仪器的最小可检漏率检检6粗抽到检漏的切换点检/7加速电压的可调节范围检检8发射电流的可调节范围检检9仪器的自身漏隙检检2.校准方法2.1仪器的外观质量2.1.1用目视检查，目视检查，仪

6、器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。2.1.2仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-20091.1绝缘电阻用500V的兆欧表，的昂电源开关在“开”时，测仪器电源线对机壳之间的绝缘电阻应大于5MΩ。1.2仪器启动时间试验（对ZLS-26D/T型）用秒表记录仪器自开机后至真空达到1×10－2Pa的时间（仪器已停机8h但未超过24h，系统保持真空）。1.3漏率音响报警功能的试验调节放大器的输出示值，检验报警点的设定范围及音响器频率的变化。1.4仪器的最小可检漏率按正常开机过程，抽到高真空，

7、激发冷规，待抽到真空度为1×10－2Pa以上时，启动灯丝，调节发射电流为0.75～1mA左右，待高真空上升至0.5×10－3Pa以上时，打开漏孔，全开节流阀，调整加速电压，使其氦峰最大。校准漏孔打开前，读取检漏仪的输出指示的本底值UN,再打开漏孔，读取检漏仪输出指示最大值U0。最小可检漏率Q最小的计算：Q最小＝—×Q0Pa.m2.s-1UN—————关漏孔后仪器的噪声和漂移的绝对值之和Us——校准漏孔产生的讯号U0－UNQ0————校准漏孔漏率，Pa.m2.s-1陕西华燕航空仪表有限公司质保部HJ-M-187-2009ZLS-24C型Q最小应优于2×1

8、0－11Pa.m2.s-1ZLS-26D/T型Q最小应优于5×10－12Pa.m2.s-1AS