B包.台式电镜（含能谱）.doc

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1、B包.台式电镜（含能谱）台式电镜+能谱1.运行环境1.1.环境温度：22℃～25℃1.2.相对湿度：≤80%2.用途：可移动式桌面型材料微观分析仪，对金属材料、非金属材料、无机材料、有机化合物、陶瓷材料、半导体材料、化学材料、生物类样品等进行表面微观形貌、组织分布、成分分析。3.整套设备原装进口，设备组成：由台式电镜主机、三级电磁透镜系统、真空系统、样品室及自动样品台、高真空二次电子探测器（SE）、高真空背散射电子探测器（BSE）、牛津电制冷X射线能谱仪、控制系统、离子溅射仪、光学减振台等部分组成。4.技术指标4.1电子光学系统4.

2、1.1电子枪：发叉式钨丝阴极★4.1.2分辨率：高真空二次电子像≤5.0nm@30kVSE★4.1.3加速电压范围：1kV－30kV（30档连续可调）★4.1.4放大倍数范围：20X－150，000X，连续可调★4.1.5三级电磁透镜系统：二级聚光镜+物镜，三级电磁透镜系统。4.2真空系统4.2.1抽真空系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水4.2.2样品室最高真空度：优于4X10-3Pa4.2.3抽真空时间：≤2分钟★4.3自动样品台：三轴马达驱动，X≥35mm,Y≥35mm,T(0~45°)★4.4SE探测器：高真空二次电子探测

3、器（SE）1套；★4.5BSE探测器：高真空背散射电子探测器（BSE）1套；4.6不少于6个接口，配备X射线能谱仪接口4.6图像处理系统4.6.1配套计算机系统：不低于CPU主频3.0GHz，RAM8G，硬盘1T，光盘刻录机，24″液晶显示屏，键盘，鼠标，USB接口1台4.6.2存储图像格式：TIFF、BMP与JPEG4.6.3图像模式（像素）：RED选区（320×240），TV（640×480），SLOW（800×600），Photo（1280×960,2560×1920,5120×3840）.4.7能谱仪（EDS）部分技术指标4

4、.7.1该设备可与台式扫描电镜配套使用，用于材料的微区成分分析4.7.2技术指标及配置4.7.2.1★探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，20mm2有效面积，超薄窗设计,无需液氮冷却，仅消耗电能.4.7.2.2★能量分辨率：MnKa保证优于129eV,元素分析范围:B5～Pu944.7.2.3★圆形对称芯片，最大程度地减少低能端的能量损失4.7.2.4★FET场效应管同阳极独立封装，避免X射线的轰击4.7.2.5★谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，MnKa峰谱峰漂移小于1eV4.7.2.6具备零峰修正功能,可以

5、快速稳定谱峰,开机后无需重新修正峰位。4.2.7.8★脉冲处理器与图形处理器均与计算机采用分立式设计。4.2.7.9能谱应用软件采用最新的AZtecOne平台，基于Win7技术，多线程设计，导航器界面4.2.7.10★高帽滤波法，自动扣除背底4.2.7.11谱定性分析:可自动标识谱峰,可进行谱重构，对重叠峰进行手动峰剥离4.2.7.12★定量分析:采用XPP定量修正技术,对探测器硬件进行的全面Q-CAL修正。4.2.7.13图像分辨率最高可达2048*2048，元素面分布图分辨率最高可达1024*1024。4.2.7.14★具备全谱

6、面分布分析功能。一次面分布分析即可存储每一扫描位置(x,y)的所有元素的信息,用户随后可以在离线状态下从图像上的任何位置重建谱图和面分布图.并可在任意位置重构线扫描结果。4.2.7.15★具备全谱线扫描分析功能。一次线扫描分析即可存储所有元素的信息。4.2.7.8可将电镜图象传输到能谱仪的显示器上，并以该图为中心做微区分析。4.2.7.9制造符合ISO9001标准4.8原装进口离子溅射仪4.8.1自动真空控制，条件设置简单，可以实现快速抽真空（<2min）;4.8.2完成镀膜后可以自动卸载真空。4.8.3旋片式机械真空泵：100L/

7、min（60Hz）4.8.4靶的尺寸：直径50mm4.8.5样品室内径：100mm4.8.6离子流控制范围：1~9mA4.9控制系统4.9.1基于操作系统Windows7的电镜操作控制软件4.9.2自动控制功能：电子枪饱和/电子枪对中/电子枪偏压/亮度对比度/聚焦4.10、图像处理分析软件4.10.1图像标注编辑存储4.10.2长度、角度，面积等测量功能4.10.3实时图像灰度直方图显示5、产品配置要求5.1主机系统1套5.2真空系统1套5.3自动样品台1套5.4SE探测器：高真空二次电子探测器（SE）1套；5.5BSE探测器：高真

8、空背散射电子探测器（BSE）1套；5.6三级电磁透镜电子光学系统1套；5.7电镜控制系统1套5.8牛津电制冷X射线能谱仪1套5.9原装进口离子溅射仪1套5.10电子枪灯丝50支5.11其它必备备品备件1套5.12光学减振台1套5.13