afm原子力显微镜原理.ppt

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1、原子力显微镜小组成员：张翔张尧原子力显微镜的历史原子力显微镜(AFM)也称扫描力显微镜，是针对扫描隧道显微镜不能直接观测绝缘体表面形貌的问题，在其基础上发展起来的又一种新型表面分析仪器。由于STM分析材料只限于导体和半导体，在1986年，由IBM公司的Binnig和Quate发明了原子力显微镜利用探针针尖和欲测试样品间的范德华力的强弱，得知样本表面起伏高低和几何形状，由于其没有使用STM的电子隧道效应原理，因而样本可以为导体和非导体，解决了STM在材料上的限制。基本原理将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微

2、小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。基本原理当扫描样品时，激光可测量微悬臂的弯曲变形。在x、y、z位置上的扫描通过压电转换器显示。计算机系统控制xyz位移，记录反射的激光信号，专用软件处理这些数据，构成样品形貌图。原子力显微镜优点：AFM提供真正的三维表面图。AFM不需要对样品的任何特殊处理，如镀铜或碳，这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。电子显微镜

3、需要运行在高真空条件下，原子力显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。原子力显微镜缺点：成像范围太小，最大只有百微米范围速度慢，扫描一个样品需要至少数小时受探头的影响太大布鲁克发布原子力显微镜新品美国加利福尼亚州当地时间2011年5月2日，布鲁克（Bruker）发布了一款具有创新性和独特外形的原子力显微镜新品。利用多项新技术是扫描速度大幅提升，在不牺牲图像精度的情况下，可以在数分钟甚至数秒内完成扫描！！！基本结构由以下三大部分构成力检测部分位置检测部分反馈系统基本结构力检测部分：所要检测的力是原子与原子之间的范德

4、华力。所以在本系统中是使用微小悬臂（cantilever）来检测原子之间力的变化量。微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针尖，用来检测样品－针尖间的相互作用力。这微小悬臂有一定的规格，例如：长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状，而这些规格的选择是依照样品的特性，以及操作模式的不同，而选择不同类型的探针。基本结构位置检测部分：在原子力显微镜（AFM）的系统中，当针尖与样品之间有了交互作用之后，会使得悬臂cantilever摆动，所以当激光照射在微悬臂的

5、末端时，其反射光的位置也会因为悬臂摆动而有所改变，这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以供专门控制器作信号处理。基本结构反馈系统在原子力显微镜（AFM）的系统中，将信号经由激光检测器取入之后，在反馈系统中会将此信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持一定的作用力。工作模式主要有以下三种模式接触模式(contactmode)非接触模式(non-contactmode)敲击模式(tappingmode)工

6、作模式接触模式：接触模式是AFM最直接的成像模式。在整个扫描成像过程之中，探针针尖始终与样品表面保持亲密的接触，而相互作用力是排斥力。扫描时，悬臂施加在针尖上的力有可能破坏试样的表面结构，因此力的大小范围在10-10～10-6N。若样品表面柔嫩而不能承受这样的力，便不宜选用接触模式对样品表面进行成像。工作模式接触模式（ContactMode）：优点：扫描速度快，是唯一能够获得“原子分辨率”图像的AFM，垂直方向上有明显变化的质硬样品，有时更适于用ContactMode扫描成像。缺点：横向力影响图像质量，而且针尖刮擦样品

7、会损坏软质样品（如生物样品，聚合体等）。工作模式非接触模式非接触模式探测试样表面时悬臂在距离试样表面上方5～10nm的距离处振荡。这时，样品与针尖之间的相互作用由范德华力控制，通常为10-12N，样品不会被破坏，而且针尖也不会被污染，特别适合于研究柔嫩物体的表面。工作模式非接触模式（Non-ContactMode）：优点：没有力作用于样品表面。缺点：由于针尖与样品分离，横向分辨率低；为了避免接触吸附层而导致针尖胶粘，其扫描速度低于TappingMode和ContactModeAFM。通常仅用于非常怕水的样品，吸附液层必

8、须薄，如果太厚，针尖会陷入液层，引起反馈不稳，刮擦样品。工作模式敲击模式：敲击模式介于接触模式和非接触模式之间，是一个杂化的概念。悬臂在试样表面上方以其共振频率振荡，针尖仅仅是周期性地短暂地接触/敲击样品表面。这就意味着针尖接触样品时所产生的侧向力被明显地减小了。因此当检测柔嫩的样品时，AFM的敲击模式是最好的选择之一。工作模式轻