洁净系统型式

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1、潔淨工程技術講座潔淨系統型式潔淨系統型式大綱潔淨系統型式風管系統FFU系統軸流風機系統大型電子廠架構電子廠概念圖MAU與空氣循環系統潔淨室型式亂流式水平層流式垂直層流式混流式隧道式包裹式標準機器介面式潔淨系統型式2潔淨室型式亂流式→以潔淨空氣來沖淡潔淨室之污染物水平層流式→以潔淨空氣來置換潔淨室之污染物垂直層流式→以潔淨空氣來置換潔淨室之污染物混流式→包括亂流式與層流式隧道式→隔離製程空間與維修空間包裹式→隔離製程設備（準微環境式）標準機器介面式→隔離製程設備（微環境式）潔淨系統型式3亂流式潔淨室可採風管系統或FFU系

2、統潔淨空氣必須分佈至所有角落以潔淨空氣沖淡潔淨室之污染物適用在Class100或較不嚴謹之潔淨室潔淨系統型式4水平層流式潔淨室潔淨空氣下游空間之污染物濃度較高以潔淨空氣推排潔淨室之污染物適用在醫院手術室等場所潔淨系統型式5垂直層流式潔淨室可採FFU系統或軸流風機系統必須要求潔淨空氣之氣流平行度以潔淨空氣置換潔淨室之污染物適用在Class10或更嚴謹之潔淨室潔淨系統型式6混流式潔淨室可採FFU系統或軸流風機系統沖淡Class100或Class1kClass10或Class1Class100或Class1k沖淡置換潔淨系統

3、型式7隧道式潔淨室可採FFU系統或軸流風機系統稀釋Class1kClass10或Class1置換置換潔淨系統型式8包裹式潔淨室可採FFU系統或軸流風機系統稀釋Class1kClass0.1稀釋置換Class1k準微環境室潔淨系統型式9標準機器介面式潔淨室A可採FFU系統或軸流風機系統稀釋Class1kClass0.01稀釋置換Class1k微環境室潔淨系統型式10標準機器介面式潔淨室B可採FFU系統或軸流風機系統稀釋Class1kClass0.01稀釋置換Class1k微環境室稀釋置換潔淨系統型式11潔淨系統型式風管系

4、統FFU系統軸流風機系統以風管輸送潔淨空氣循環空調箱兼處理外氣天花空間為正壓氣室獨立設置外氣空調箱天花空間為微負壓氣室獨立設置外氣空調箱示意圖示意圖示意圖潔淨系統型式12風管系統(循環空調箱兼處理外氣)潔淨度、溫度及濕度控制潔淨系統型式13FFU系統(獨立設置外氣空調箱)潔淨度控制溫度控制濕度控制溫度控制潔淨系統型式14軸流風機系統(獨立設置外氣空調箱)潔淨度控制溫度控制溫度控制濕度控制潔淨系統型式15大型電子廠架構電子廠概念圖平面概念圖剖面概念圖MAU與空氣循環系統MAU潔淨室熱源分佈空氣循環系統潔淨系統型式16電子

5、廠平面配置概念圖潔淨系統型式17電子廠剖面概念圖潔淨系統型式18MAU+空氣循環系統MAU功能壓力之控制濕度之控制外氣微塵粒之預處理氣狀污染物之控制空氣循環系統功能潔淨度之控制溫度之控制濕度之維持氣狀污染物之控制空氣循環系統MAU潔淨系統型式19外氣處理空調箱潔淨系統型式20空氣循環系統FFU系統壓力分佈天花板構造→乾式排煙系統→洩漏→結露溫度分佈與控制軸流風機系統壓力分佈天花板構造→濕式排煙系統→洩漏→潔淨度溫度分佈與控制謝謝指教！潔淨室熱源分佈潔淨系統型式21潔淨室熱源分佈潔淨系統型式22FFU系統示意圖潔淨系統型

6、式23FFU系統排煙潔淨系統型式24軸流風車系統示意圖潔淨系統型式25軸流風車系統排煙潔淨系統型式26空氣洗滌加濕之出口相對濕度比二流體加濕明顯高很多，可以大幅降低外氣之預熱溫度，對熱回收CHU之熱水應用非常有利您提出的問題將是大家共同學習的動力潔淨系統型式