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单片集成薄膜体声波生化微传感器的数字微流控芯片研究

单片集成薄膜体声波生化微传感器的数字微流控芯片研究

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页数：124页

时间：2021-12-19

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2、人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特别加标注和致谢之处外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得天津大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料一。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。／八＾：学位论文作者签名签字日期；＞年ｒ月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解天津大学有关保留。、使用学位论文的规定特授权天津大学可将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编Ｗ供查阅和借阅。同意学校向国家有

3、关部口或机构送交论文的复印件和磁盘。（保密的学位论文在解密后适用本授权说明）？－ＴｎｉｌＷａ■４．、签学位论文作者签名导师签名；字日期；１＾矿年Ｘ月日签字日期；＞０皆年ｆ月＞？日单片集成薄膜体声波生化微传感器的数字微流控芯片研究Astudyonmonolithicintegratedchipwithdigitalmicrofluidicsandfilmbulkacousticresonatorsensor一级学科：仪器科学与技术学科专业：测试计量技术及仪器作者姓名：张孟伦指导教师：胡小唐教授天津大学精密仪器与光电子工程学院2015年5月摘要摘

4、要芯片实验室提供了高分辨样品处理和检测分析的微型集成平台，在生物、化学、医学等重要领域拥有巨大的应用前景。特别是数字微流控系统能够对微量液滴实施多种流体操作，以其突出的反应快速、可并行处理、体积小等优势成为实现未来高通量检测和床边检测的重点研究对象。本论文紧扣这一研究热点，依据当前芯片实验室对功能部件高密度集成的重大需求，提出了薄膜体声波生化微传感器与基于介质上电润湿技术的数字微流控平台的单片集成方案，先后完成了第一代与第二代集成单芯片的研制，并针对其检测信号增强特性进行了分析；采用化学和生物样品在两代原型机上的实验展示结果验证了集成单芯片的有效性与实用性。课题的研究

5、内容和成果可以归纳为以下几个方面：1.本论文在查阅大量文献的基础上，提出了以氮化铝薄膜为设计核心的单片集成薄膜体声波生

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