7 无尘室运转与维护管理

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1、無塵室運轉與維護管理一、污染源控制潔淨室潔淨度之維持和控制，除了硬體設備之配合投資外，也需要良好的軟體一一管理制度來搭配，方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員佔約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人員進出潔淨室時塵埃有顯著的增加，有人動作時，潔淨度馬上劣化，可見潔淨度劣化之原因，人是主要因素。潔淨室的污染源可分外污染及內污染源。外污染源包括了空調送風、間隙滲入、建築物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括了製程設備、工

2、作人員、工具、加工製程、隔間材、工作桌、包裝材等，圖2為微塵粒子的傳送路徑。對矽晶片而言，微塵粒子之附著，將造成積體電路線路的變形或短路，使晶片失去運作功能，因此微污染控制己成為潔淨室管理的重要環節。表1為在自然環境所測得的塵埃濃度，可為設計參考。而在微污染控制，其基本原則有四：1.外部塵埃侵入之防止：潔淨室適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原物料搬入潔淨室前先做清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。2.室內發塵之防止：隔間隔、地板等潔淨室材料的適當選用、

3、製程設備的發塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放輕、潔淨衣的管理、使用潔淨室專用器等。1.室內發塵之不積留：牆壁體應光滑無死角、潔淨室須定期保養和清掃、製程設備四週應留空間。2.發生塵埃之排除：換氣次數須足夠，適當的空間佈置以及污染源直接排氣和空調的氣流速度須適當。以上之四點正是人、物入室的管理問題、實際的作業條件和工程管理關連之問題、室內之空調及清掃關係之問題，這些問題將於下節詳述。圖2　以空氣當介質的微塵粒子傳送途徑其他外來污染源作業人員空氣媒介的微塵粒子直接傳送接觸工作及設備接觸直接下降接觸

4、工作表面接觸直接接觸污染 生產線表1自然界微塵粒子數測　量　地　點微塵粒子數（個/ft3）≧0.5μm大氣層圈≦100田園地區（微風狀況）100,000～300,000住宅地區100,000～200,000辦公室（工作中）200,000～400,000工業區400,000～1,000,000正在吸煙的會議室600,000～1,000,000一、潔淨室運轉管理潔淨室運轉管理，可依作業人員、原物料、設備及潔淨室內所用東西等加以探討，並依計劃（Planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking

5、）、動作（Action）之PDCA循環步驟執行。1.作業人員之管理前己提及在潔淨室內污染來源80%來自作業人員，因此若能使作業人員依潔淨室管理辦法確實執行管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的產生可說已減少大半。現就進入潔淨室的作業人員之管理和注意事項說明於下：（1）進入潔淨室之人員，必須要具備有達成高潔淨度標準，並要維持最好狀態之觀念。（2）作業人員進入潔淨室數目以維持最小限度為原則（愈少愈好），並須依潔淨室進出標準流程進出潔淨室，如圖3所示。出則相反方向進行，唯不須經空氣洗塵室之脫塵處理。（

6、3）對作業人員必須經常講解潔淨室管理之資料，並加以教育與訓練，內容如潔淨室管理之一般常識、潔淨室之構造與功能、維護和清潔、安全對策、搬運器材之潔淨管理與檢查、潔淨衣之穿脫、潔淨室內之步行方式等，並經考試合格者方能進入潔淨室工作。（4）在潔淨室作業人員須經常保持自己各方面的乾淨與清潔。（5）在潔淨室內之作業人員或其他人員之移動或動作均為發塵源，其直接響製程，同時亦會影響氣流之擾動，為防止與控制上述情形，基本上須注下列事項：a.不可在作業區域氣流之上方放置物品或做其他作業。b.不必要之動作盡量避免以防止

7、亂流及發塵。c.與作業無關的私心談話儘量避免。d.為控制發塵量，人員步行及作業要靜靜地進行。表2所示為人體在不同動作時之發塵量。e.作業要在潔淨之工作檯或工作桌進行。f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或櫃中，並置放一定的場所。（1）作業人員須經常保持乾淨之手，除了常洗手、剪指甲外，手並應保養，以預防皮膚之剝離，男性須每天刮鬍子。（2）潔淨衣要經常保持著衣之狀態。（3）下列所述者不能進入潔淨室：a.非作業人員或事先未得許可者。b.未照規定穿著潔淨衣者。c.剛做激烈運動流汗者。d.吸煙或吃東西後，尚未經過

8、半小時以上者。圖4為吸煙和未吸煙者微塵產生量與時間之比較圖，由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘後才降至約15倍，此為為何潔淨室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不准進入的原因所在。故針對在潔淨室作業人員之招募，若能選擇不吸煙者為對象，將可帶來甚大利益。圖3　潔淨室人員進出流程污染區域戴口罩二次更衣換鞋二次更衣室腳踏黏墊頭罩一次換鞋更衣潔淨室空氣洗塵室腳踏黏墊戴手套洗手烘乾更換潔淨衣、鞋表2　人體不同動作之微塵產生數≧0.3μ≧0.5