分子泵保养与使用和维修手册

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1、一、分子系的内部结构　　　　1．高真空接口    60．球型轴承　　2．前级真空接口  61．半径方向防震垫圈　　3．冷却水连接    63．轴向防震垫圈　　4．排气接口      64．电视单元　　5．电气连接      65．0-圈　　6．橡胶底座      72．0-圈　10．转子         　73．0-圈　　10a．转子中心毂  80．锁紧著　　14．安装螺帽      81．0-圈　　16．USIT接头     82．润滑油包　　58．螺丝          83．0-圈　　59螺帽           84．油包安装环二、分子泵的清洗：　　

2、一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下：1．关掉分子泵，进行排气。2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等4．拆掉润滑的油包5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。　　7．上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在

3、无水酒精中浸泡大概5～10分钟。8．换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。9．拿出分子泵。10．将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。11．用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。12．接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。13．更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况，不必忧虑。三、驱动马达的检查　　

4、　　驱动马达的检查可以用两种方法，一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。　　带驱动单元TCP的方法操作，这里要注意一点，就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的，所以在用示波器的时候将0V线拔掉。切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。　　　 　　　　　 　　在不带驱动单元的检测方法，这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。　　　检查的时候请参考下图：　　　　　　图中的标号在外部表现的颜色为：　　　　在霍尔元件的G、F之间加上一个40MA的恒定电流，在B1-B4或B

5、2-B3之间接入示波器或万用表。然后用手转动分子泵。如果正常的话，测室出来的电压的极性每周会变化一次。 四、更换轴承　　在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。下面的图是一些专用工具（真实自己可以加工的）。　　　　图中A是中心铀，B和D都是校准用的工具，是调节间隙和位置用的。C是马达的拔除器。　　抄写的分解图如下：　　1．将分子泵放在一个平的平面上，拆下盖子80，并用两个螺丝刀取出油

6、包82，如下图：　　 　　2．用工具B拆下固定环84，拿出72和73两个密封圈。　　　　3．从马达64上拆下4个螺丝58。　　4．拧下螺母59，注意是反丝的。　　　　　5．拆掉两个橡皮角6，利用工具C小心地拔出马达64。　　　6．拿走马达64。　7．卸下工具C，装上橡皮脚6。利用镊子拿出轴承60、防震垫圈61和63。8．用酒精清洗马达，下列的元件必须一起更换：轴承60、防震垫圈61和63、油包82。 9．开始安装，安装的时候所有的元件必须用酒精清洗。10．将电气接口5和排气接口质在一个方向上，将泵直立起来。11．带上手套或用柔软的布，压下转子10（注意只能压

7、转子毂部分10A，不要压圆盘的牙齿部分）12．将分子泵翻过来放置，高真空接口朝下，将轴向的防震垫63圈放入凹槽，装入径向的防震垫圈61。13．打开轴承的包装，将固定螺母59的方向朝上，利用专用工具A装人轴上。相关图片：14．将泵水平成置，这样在上螺母时的铁屑等东西不会掉入轴承中，然后将螺母59上紧，后再拧松，用0.6NM的力矩搬扳手上紧螺母59。15．利用专用工具B，安装固定环84和密封圈72、73，用力上紧，直到感觉有金属性的抵制为止。然后在工具B上做一个记号，将84旋回90度。16．拿出旧的油包，放入新的油包，装上密封圈和盖子，到此，更换己经完成。但是在

8、使用以前，必须对磁性轴进行检查和校正，同时对转页的间