电子级超纯水中国国家标准gbt

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1、中华人民共和国国家标准                                                              GB/T11446.1-1997电子级水                                                              代替GB11446.1--89 Electronicgradewater   1  范围   本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.本标准适用于电子元器件生产和清洗用水． 2  引用标准   下

2、列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性． GB/T11446.3——1997 电子级水测试方法通则 GB/T11446.4——l997 电子级水电阻率的测试方法 GB/T11446.5——1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法 GB/T11446.6——1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法 GB/T11446.7——1997 电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离

3、子、硫酸根离子的离子色谱测试方法  GB/T11446.8——1997 电子级水中总有机碳的测试方法  GB/T11446.9——1997 电子级水中微粒的仪器测试方法  GB/T11446.10——1997电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法 3 定义   本标准采用下列定义．3.1电子级水electronicgradewater   制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水．3.2电阻率resistivity   在规定温度下,1cm²水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号P表示，单位为Ω﹒cm，纯水的理论电阻率

4、为18.3MΩ﹒cm(25℃)．3.3全硅totalsilicon   水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量．3.4可溶性硅solublesilicon   以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐．3.5微粒性物质granularmatter   除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质．3.6总有机碳(TOC) totalorganiccarbon水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。3.7吸附absorption   某些多孔性

5、粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。3.8凝聚coagulation   在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。3.9絮凝flocculation   水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行，可除去水中更细的微粒。3.10砂滤器sandfilter   用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。3.11 活性碳过滤器activatedcarbonfilter   装有

6、粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。3.12离子交换ionexchange   一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化．3.13去离子水deionizedwater   经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水。3.14再生regeneration   离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。3.15复合床complexbed   将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换

7、柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化，复合床处理水的纯度虽不及混合床，但操作较简单。3.16混合床mixedbed   将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多组合床串联使用，出水质量好但再生比较麻烦．3.17电渗析electrodialysia   一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室，水流通过小室时，在直流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜；阴离子则相反．这样就形成相间存在的浓、淡水

8、室而达到提纯水的目的。3.18反渗透reverse osmosis   亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开，并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的．3.19反渗透膜reverseosmosismembrane   用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为