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1、Seediscussions,stats,andauthorprofilesforthispublicationat:https://www.researchgate.net/publication/305556871Recentprogressofatmospheric-pressureglowdischargeswithbare-metallicelectrodesArticle·January2009CITATIONSREADS01064authors,including:He-PingLiGuoLiTs
2、inghuaUniversityWashingtonUniversityinSt.Louis105PUBLICATIONS1,279CITATIONS41PUBLICATIONS549CITATIONSSEEPROFILESEEPROFILEAllcontentfollowingthispagewasuploadedbyHe-PingLion23July2016.Theuserhasrequestedenhancementofthedownloadedfile.综述文章（Reviews）裸露金属电极大气压射频辉
3、光放电研究进展李和平，李果，王森，包成玉清华大学工程物理系，北京100084摘要射频大气压辉光放电等离子体在等离子体辅助刻蚀、薄膜沉积、消毒灭菌、空气净化、战地生化清洗等领域有着非常广阔的应用前景。目前，采用具有裸露金属电极结构的等离子体发生器实现大气压条件下氮气、氧气以及空气等廉价气体的稳定射频辉光放电是一项具有挑战性的研究工作。本文以采用诱导气体放电法和局部电场强化法产生纯氮、纯氧及空气的大气压射频辉光放电等离子体以及大气环境下气体流动对等离子体放电特性的影响为重点，综述了裸露金属电极结构的大气压射频辉光放
4、电等离子体电特性实验研究的最新进展。关键词大气压；射频；辉光放电；低温等离子体中图分类号O53文献标识码A文章编号1000-7857（2009）05-0081-06RecentProgressofAtmospheric-Keywordsatmosphericpressure;radiofrequency;glowdischarge;low-temperatureplasmaPressureGlowDischargeswithBare-MetallicElectrodes0引言LIHeping,LIGuo,WAN
5、GSen,BAOChengyu等离子体是物质的第四态，指包含足够多的、电荷数目近于相等的正、负带电粒子的物质聚集状态。通常在温度和气DepartmentofEngineeringPhysics,TsinghuaUniversity,压较高的情况下，电子、离子、中性粒子会通过激烈碰撞而充Beijing100084,China分交换能量，从而使等离子体达到热力学平衡状态。电子、离子、中性粒子温度大致相等的等离子体称为热等离子体（ThermalPlasma）；而在另外一些情况下，由于等离子体中电AbstractRad
6、iofrequencyatmosphericpressureglowdischarge子在与重粒子（离子或中性粒子）的碰撞过程中能量交换效(RFAPGD)plasmasourceshavewideapplicationsindifferent率很低，使得电子温度远高于重粒子温度，这种等离子体称fields,suchasplasma-aidedetching,deposition,disinfectionand为冷等离子体（Non-ThermalPlasma/ColdPlasma）。热等离子sterilizati
7、on,airpurification,decontaminationofchemicaland/or体与冷等离子体合称为工业等离子体，这是因为在工业中应biologicalwarfareagents.Atthepresenttime,itisachallenging用的主要是这两种等离子体；在有些文献（尤其是俄文文献）tasktoobtainnitrogen,oxygenorairRFAPGDsusingtheplasma中，工业等离子体亦被称为低温等离子体[1]。generatorswithbaremetal
8、licelectrodesatatmosphericpressure.Thispaper,reviewstheproductionmethodsoftheRFAPGDplasma目前，在冷等离子体材料加工领域（如等离子体薄膜沉sourceswithpurenitrogen,oxygenorairastheplasma-workinggas积、刻蚀、材料表面改性等）广泛应用的等离子体源一
