基于双压电驱动宏微结合的纳米定位台的研究

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1、目录第一章绪论...............................................................................................................11.1课题来源.............................................................................................................11.2论文研究背景及意义.........

2、................................................................................11.3宏微结合纳米定位台的国内外研究现状...........................................................21.3.1宏微结合纳米定位台的国外研究现状.....................................................21.3.2宏微结合纳米定位台的国内研究现状

3、.....................................................51.4论文主要研究内容............................................................................................111.5本章小结...........................................................................................

4、................12第二章宏定位系统方案研究......................................................................................132.1宏动台方案设计...............................................................................................132.2宏动台结构组成......................

5、.........................................................................142.2.1压电马达.................................................................................................142.2.2光栅测量系统...............................................................

6、..........................162.2.3交叉滚子导轨.........................................................................................172.2.4宏动台的控制.........................................................................................182.3宏微结合定位系统..............

7、.............................................................................192.4本章小结...........................................................................................................21第三章微定位平台方案研究..................................................

8、....................................223.1微定位系统组成...............................................................................................223.2微定位平台驱动器.............................................