EXT75DX涡轮分子泵

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1、EXT75DX复合涡轮分子真空泵EXT75DX复合涡轮分子泵采用众多先进技术，下轴承为陶瓷机械轴承，上轴承为永久性磁悬浮轴承，Holweck拖曳级24V驱动，可通过并口/串口与TIC控制器通讯。这样一台EXT75DX泵、一台TIC控制器、一个空冷或水冷附件，再选用一台合适的前级泵就可以组成一套基本的抽真空系统。性能曲线1.N22.He3.H21.N22.He安装尺寸A手动放气阀（放气口）E吹扫口（空白）B电源插件F级间接口（仅EXT75iDX）C逻辑接口G电源插件连接插孔D前级泵接口H接地订货信息产品描述货

2、号EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN63ISO-KB72241000EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN63CFB72242000EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN40NWB72243000EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN100ISOKB72245000EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN100ISO-K(DN25NWBacking)B72246000EXT75iDX涡轮分子泵：接口法兰DN40NWB72235000EXT75iDX涡轮分子泵：接口法兰DN63ISO-KB72237000E

3、XT75iDX涡轮分子泵：接口法兰DN63ISO-K(NW25Interstage)B72238000技术参数入口法兰DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K出口法蓝NW16泵速N2（ISO63/63CF、DN40NW、ISO100）61l/s42l/s66l/sHe（ISO63/63CF、DN40NW、57l/s49l/s59l/sISO100）H2（ISO63/63CF、DN40NW、ISO100）53l/s48l/s54l/s压缩比N2>1×1011He1×106H25×1

4、04极限真空前级泵用RV泵，ISO/CF<1×10-9/<1×10-10mbar前级泵用隔膜泵，ISO/CF<1×10-8/<1×10-9mbar推荐前级泵*RV5/XDS5放气口1/8inchBSP内螺纹吹扫净化口1/8inchBSP内螺纹最大入口连续压力（抽轻的气体）†水冷（水温15°C，环境温度40°C）2×10-2mbar空冷（环境温度35°C）1×10-2mbar泵转速额定转速90000rpm待机转速49500~90000rpm（缺省设置63000rpm）可调功率范围50~120W（缺省设置80W

5、）启动时间（达到90%转速）110s‡模拟输出泵转速、功耗、泵温、控制温度冷却方式?空冷/水冷空冷时的环境温度范围5~35°C最小水冷流速（水温15°C）15l/h水温范围10~20°C最大入口温度80°C工作姿态垂直，水平噪音（1m）<50dB(A)最大允许磁场强度5mT推荐控制器TIC100涡轮仪表控制器稳态功耗10W*根据应用也可以使用较小的前级泵，可以使用极限真空小于5mbar的隔膜泵，如XDD1。†高于该压力，转速将会下降到额定转速以下。‡功耗80W?空冷和水冷附件需另购