全球溅射靶材市场及发展趋势

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1、全球溅射靶材市场及发展趋势第6期电子元件与材料Vol.21No.62002年6月ELECTRONICCOMPONENTS&MATERIALSJun.2002动态科技TRENDS杨邦朝，胡永达，蒋明(电子科技大学微电子与固体电子学院，四川成都610054)摘要：介绍了全球靶材市场的概况和靶材的发展趋势。亚洲的一些国家和地区将成为靶材需求的新增长点，是未来靶材市场的重心。硅圆晶片、平面显示器和存储技术是靶材应用的主要领域，随着下游产品向细线条、大面积方向发展，对靶材品质提出了更高纯度和更大面积的要求。关键词：靶材；市场；产品中图分类号：TB43文献标识码：A文章编号:10

2、01-2028(2002)06-0029-03TheWorldMarketofSputteringTargetMaterialandItsDevelop!ngTrendYANGBang-chao,HUYong-da,JIANGMing(Instituteofmicroelectronicandsolid-stateelectronics,ChengduUniversityofElectronicScienceandTechnology,ChengduSichuan610054）Abstract:Thepaperisasurveyontheworldmarketofsputte

3、ringtargetmaterial.ThedemandfortargetmarketisgrowinginthecountriesanddistrictsinAsia.Themainfieldswheretargetsareappliedaresiliconchip,FPDandmemorytechnology・Thetargetmaterialofhighpurityandlargerareaisrequiredtosatisfytherequirementoffinerlineandlargerareaonthesubstrate・Keywords:targets;ma

4、rkets;products各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路（VLSI）、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来，溅射杷材及溅射技术的同步发展，极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求。例如，在半导体集成电路制造工艺过程中，以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝膜布线；在平面显示器产业中,各种显示技术（如LCD、PDP、OLED及FED等）的同步发展，有的12经用于电脑及计算机的显示器制造；在信息存储产业中，磁性存储器的存储容量不断增加，新的磁光记录材料不断推陈出新。这些都对所需溅射靶材的质量提出了越来越高的要求，需求数量也逐年增加。随

5、着电子产业和多媒体碟片（CD、VCD、DVD）的蓬勃发展，溅射靶材的使用率逐渐提高，消耗量也不断增加，迫切需要开发更多的优质靶材。询公司）最新的统计报告指出，全球靶材市场将以8.8%的年平均增长率(AAGR)在今后的5年内持续增长，估计销售额将从1999年的7.2亿美元增加到2004年的11亿美元。靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，主要使用在微电子,显示器，存储器以及光学镀膜等产业上，用以溅射用于尖端技术的各种薄膜材料。BCC的报告显示：全球的上述产业在1999年大约使用了2.88百万公斤靶材。换算为面积，则溅射了363百万平方米的薄膜。而若以单位靶材来计算,全球在19

6、99年则大约使用了374000单位的靶材。这里所要指出的是，随着应用产业的不同，靶材的形状与大小也有所差异，其直径从15cm到3m都有，而上述的统计资料，则是平均化后的结果。若依照每年的靶材消耗重量来看，光学镀膜产业由于大多使用靶材在大面积的镀膜玻璃上，无疑是最大的应用市场，其1999年消费的靶材重量大约占全球消耗量的73%。其次则为微电子业，1999年的市场占1全球溅射靶材的市场概况BCC(BusinessCommunicationsCompany,商业咨收稿日期：2001-12-26修回日期：2002-01-26作者简介：杨邦朝(1938—),男，重庆人，博士导师，研究方

7、向为高温超导薄膜技术，微电子封装技术和电解电容。Tel:(028)83201460o30电子元件2002年有率大约为12%o至于光磁存储器产业则占8%,平面显示器目前仅占6%,但这是一个增长型的产业。有趣的是，若不是以重量而以消费单位来统计，则情况完全不同,微电子业和存储媒体产业所使用的单位总和几乎涵盖了全球市场的95%,这是因为相对较小的使用面积，加上利用率的限制，导致需要极大数量的靶材单位。一般而言，微电了业及存储媒体业镀膜面积的直径大多小于20cm,而玻璃镀膜或平而显示器则可能达到3m直径。在未来