车间ESD管理程序.doc

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1、版本修订历史记录版本号修订内容修订时间1.0第一次下发2009年06月21日                              起草:日期:审核:日期:批准:日期:1.0目的以防止静电破坏电子组件及产品，保证产品之品质良好，提高产品之寿命及可靠性为目的。2.0适用范围适用于本公司内所有产品物料之采购、验收、储存、搬运、加工、包装及生产装配、产品测试等全过程。3.0名词定义3.1ESD(ElectroStaticDischarge)主要是指两个带有不同静电电位之物体，当它们接近并能够发生电荷传送，由于电荷的传送产生了电流，使器件损坏或造

2、成寿命上的伤害，一般称为静电泄放或简称ESD。3.2SSD(StaticSensitiveDevice):凡对静电敏感的电子元器件一般称为静电敏感元器件或简称SSD。4.0职能分工4.1ME指导ESD设备、设施的主要设置项目做维护、点检。4.2各制程操作人员每天对工作台面的接地线是否连接良好做点检。4.3IPQC负责依据《车间ESD稽核检查表》进行ESD点检稽核。4.4各职能部门负责按ESD控制文件要求实施。5.0参考文件ESD控制国际标准6.0程序说明6.1ESD保护由设计来源或零件供应商提供组件及产品之防护等级。范围涉及采购、收料、储存、

3、运送、制程、测试及可靠性实验。ME汇总ESD防护要求，相关环节必须严格按ESD控制要求规范作业。6.2采购ESD控制6.2.1依据ME之规定，物料采购按零件承认书对SSD组件采购时，须在采购单注明ESD防护要求；其它ESD防护器材采购时，须按ME测试工程师制定的标准进行采购。6.2.2须向经认可的ESD产品供货商采购，并保持最新的ESD认可供应商清单。6.2.3要求供货商提供合乎规格之包装、标示及正确的发票。6.3收货部门防ESD控制6.3.1依据采购订单，对ESD零件进行清点验收，检查是否有外包装或(及)发票确认为ESD组件。6.3.2ES

4、D组件与非SSD应分区堆放，并做显著标示。6.3.3检查ESD组件的包装与标示是否正确。6.3.4开启ESD组件包装的区域应配置适当的ESD防护设备，如防静电桌垫，ESD手环等。6.3.5ESD防护器材收货时除数量正确外，还应对其ESD防护等级用专用的仪表进行检测，确定进货静电防护等级与标准是否相符，禁止不合格ESD防护产品进入工厂。6.4进料检验(IQC)的ESD控制6.4.1IQC需依零件承认书上之要求进行检验，确认静电防护及标示是否正确。6.4.2IQC在做检验时要求在静电防护良好的区域(工作场所)进行，须有ESD手环，ESD工作衣、手

5、套、防静电桌垫，工作桌须接静电地。6.4.3检验员需对不当标示或不当包装的组件，依不合格品处理程序执行。6.4.4检验员对防静电气泡袋、静电桌面、静电手套、周转车、料箱、料盒等防静电材料需按要求对其进行静电检测，并如实在《防静电材料IQC检验记录表》中记录好检测数据，如检测到不良即依不合格品处理程序执行。6.5零件材料储存,暂存部门的ESD控制6.5.1在仓库存放SSD须在存放区加以标示清楚。6.5.2存放架要接地处理。6.5.3不可在存放区直接拆开组件包装，直接接触组件须在有良好的静电防护下方可接触组件。6.5.4在存放区搬运SSD须使用专

6、用工具(防静电车)，并使包装完整。6.5.5物料周转区须严格按材料存放区ESD控制规范进行作业。6.5.6对磁带/磁盘及其它软件或资料储存的媒体，应装在防静电的包装袋内，并存放有明显标志且有良好接地的料架或柜内，取放时应佩戴好接地良好的防静电环。6.6物料运送ESD控制:6.6.1对SSD须使用专用防护工具运送。6.6.2搬运人员须戴防静电手套、防静电脚环，穿防静电衣、鞋等。6.6.3运送过程中须有正确ESD包装。6.6.4依据物料运送规范，不得使SSD材料相互碰撞、摩擦、堆栈。6.7制造过程中的ESD控制:6.7.1SSD加工区域，作业员须

7、穿好防静电衣、防静电鞋，戴好静电帽，戴好防静电手环，并确保防静电手环可靠接地，需走动的工位作业员须戴好防静电脚环；未做好静电防护者不能接触SSD；工作台铺防静电桌垫，静电接地良好，作业中正确使用防静电各种工具。(如ESD电烙铁，静电排除装置等)。6.7.2对SSD加工中若须离开原包装，操作人员须做静电防护，戴好接地良好静电手环并于加工后放回原包装或其它防静电容器内。6.7.3SSD在组装中，依据ME工艺工程师作业指导书进行特殊防护及使用其规定工具，并定期点检其有效性。6.7.4制程工作人员所使用的静电环和防静电鞋均需每天二次用“人体静电综合测

8、试仪”加以测试，确认功能正常，并作好记录。详见7.1《人体静电综合测试SOP》及7.2《静电环与静电鞋测试记录表》。6.7.5定期对操作员工进行使用ESD工具、设施