parylene涂覆材料及其应用

《parylene涂覆材料及其应用》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、材料与器件MaterialsandDevicesDOI:10.3969/j.issn.1003－353x.2011.06.004Parylene涂覆材料及其应用韩建栋，徐爱东(中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄050051)摘要:介绍了一种热塑性高分子材料派瑞林(Parylene)。首先介绍了不同型号材料的分子结构和Parylene的涂覆过程;接着对其特性进行了较全面阐述，该材料具有良好的物理和机械性能，具有低摩擦系数、优良的耐溶剂性能和耐酸碱特性等突出特点，并将其综合性能和其他常用涂层性能进行了比较。介绍了Parylene涂层在MEMS领域、电子行业、医疗器械以及文物保

2、护方面的应用，及其在微电子领域的应用前景。关键词:派瑞林;摩擦系数;微电子机械系统;气相沉积;涂覆材料中图分类号:TM215.1;TH703文献标识码:A文章编号:1003－353X(2011)06－0430－04ParyleneCoatingMaterialandItsApplicationHanJiandong，XuAidongth(The13ResearchInstitute，CETC，Shijiazhuang050051，China)Abstract:AthermoplasticmacromoleculematerialParylenewasintroduced．Fir

3、stly，themolecularstructuresforthedifferenttypematerialsandtheprocessofcoatingareintroduced．Then，itscharacteristicsareexpatiated．Ithasgoodcharacteristicsinphysicalandmechanism，suchassmallcoefficientoffriction，fineperformanceinresistsolvent，acidandalkalietc．Thegeneralperformancesarecomparedwit

4、hthoseofothercoatingmaterialsincommonuse．TheapplicationsoftheParyleneinMEMSfield，electronicindustry，medicalinstrumentandprotectionofculturalrelicsareintroduced．Itsapplicationprospectinthemicroelectronicfieldispresented．Keywords:Parylene;frictioncoefficient;MEMS;vapourphasedeposition;coatingm

5、aterialEEACC:0560;2575B0引言1Parylene的分类和沉积派瑞林、派拉伦(Parylene)是一种保护性高1.1分类分子材料，是20世纪60年代中期美国联合碳化物Parylene材料按照分子结构的不同，可分为N公司开发的一种分子级敷型涂层材料，是独特的聚型、C型、D型、HT型等四种类型。每种类型的对二甲苯(poly-P-xylylene)聚合物系列的通用名材料因结构不同而具有不同的特性，使用时可根据称，也是军事标准中唯一一种固态涂料。Parylene具体需要选用最适宜的Parylene种类。四种材料的使用真空气相沉积工艺形成保护膜，这种薄膜具有不同分子结

6、构见图1。厚度均匀、致密无针孔、透明无应力等特点，有优异的电绝缘性和防护性。Parylene于20世纪90年代后期开始进入中国市场，主要应用在微电子、半导体领域做高纯度的钝化层和介质层，混合电路绝缘和隔离保护;在MEMS领域用做钝化、防护、润滑等涂层;在生物医学防腐及文物保护等领域作为隔离、固化、加固材料。本文主要介绍Parylen材料的主要特性，在医疗器械、文物保护方面的应用，以及在电子产品图1Parylene几种不同型号的分子结构Fig.1MolecularstructuresforthedifferenttypesofParylene防护、MEMS领域的应用现状和前景。4

7、30半导体技术第36卷第6期2011年6月韩建栋等:Parylene涂覆材料及其应用1.2沉积过程体环境下的低渗透率;ParyleneD通过高温下优良Parylene使用真空气相沉积工艺，先将固态粉的物理和电性能改善了热稳定性。ParyleneHT是末气化，再在高温下裂解，然后在常温沉积腔聚合具备上述三种材料优点的一种组合材料。下面主要成高分子聚合物，沉积在要保护的样品上，形成保以ParyleneN和ParyleneC为例，介绍Parylene的护膜。主要特性。将Parylene粉末放在涂覆