高纯Ag变形及退火后的微观组织.pdf

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1、第33卷第1期材料热处理学报Vo1．33NO．12012年1月TRANSACTIONSOFMATERIALSANDHEATTREATMENTJanuary2012高纯Ag变形及退火后的微观组织董亭义，万小勇，罗俊锋，高岩，王欣平(北京有色金属研究总院，有研亿金新金属材料股份有限公司，北京100088)摘要：研究了压缩变形及退火热处理对高纯Ag(99．99％)微观组织的影响。结果表明，高纯Ag铸锭模锻后，经570oC×2h退火可消除铸态组织，屈服强度约为66MPa，随应变的增加应力明显增加；然后经道次变形量20％，总变形量85％的

2、变形，退火温度为360oC时间为1．5h，高纯Ag坯料的微观组织均匀，符合制备靶材的基本要求。关键词：高纯Ag；微观组织；变形；退火中图分类号：TG146．2文献标志码：A文章编号：1009—6264(2012)O1—0080—04Microstructureofdeformedandannealedhigh—purityAgDONGTing—yi，WANXiao—yong，LUOJun—feng，GAOyan，WANGXin—ping(GRIKINAdvancedMaterialsCoLtd，GeneralResearchIn

3、stituteforNon—ferrousMetals，Beijing100088，China)Abstract：MicrostructureofAgwith99．99％purityaftercompressivedeformationandannealingwasinvestigated．TheresultsshowthatyieldingstrengthofAgingotdie—forgedandannealedat570℃for2his66MPa．andthestressincreasessignificantlywith

4、increasingstrain，i．e，thestrainhardeningisobvious．Withtherollingdeformationof20％perpassandthecold—rolledaccumulativereductionof85％．andthenannealedat360℃for1．5h．themicrostructureofhigh—purityAgisuniform．Keywords：high—purityAg；mierostrueture；deformation；annealing在溅射工艺相同

5、的情况下，溅射靶材的性能和1O～，即合金的纯度>99．99％。铸锭经过模锻和中显微组织结构直接影响溅射薄膜的性能，其中主要间退火后，进行单道次变形量分别为10％、15％和的影响因素有靶材纯度、晶粒尺寸、组织均匀性以20％，总变形量约为85％的冷轧变形，变形后在轧制及晶粒取向等¨。为保证沉积薄膜厚度的均匀性的坯料上切取15mm×15mm×10mm的样品，在箱与溅射速率，靶材的微观组织要均匀、细小。高式热处理炉(误差±5oC)里分别进行300、330、360纯金属Ag由于具有导电率高、易于沉积、好的金属和390℃退火，退火时间为1．

6、5h，退火后水冷。光泽、与衬底附着力强等优点，已被广泛应用于半退火后的样品经机械抛光后，用30％氨水溶液导体工业薄膜制备。因此，高纯银靶材的加工必不擦拭侵蚀。组织观察在OlympusBX51光学显微镜上可少，但是由于Ag材料的价格相对较为昂贵，对高进行，试样的硬度在432SVD型显微硬度计上测试，纯金属Ag的变形和组织控制研究较少。本文对高载荷为1kg，保压时间为30S。纯Ag(99．99％)的常温轧制变形和再结晶退火对其微观组织的影响进行了研究，为制定高纯Ag靶2实验结果及分析材的加工工艺提供依据。高纯Ag经反复锻造可以消除铸

7、态的粗大晶粒，在银锻锭的内部出现大量的相互交织在一起的位错，1实验材料及方法如图1(a)所示。经中间退火后，在畸变能的驱动下，实验材料为1号银锭，是经过真空感应熔炼除气在锻锭的内部发生再结晶，如图所示1(b)所示。但后浇铸成型的铸锭。对该铸锭进行辉光放电质谱是经过锻造再结晶退火的微观组织晶粒大小不均匀，(GDMS)全元素分析，测得其他微量元素总和不大于不能满足靶材对微观组织晶粒均匀、细小的要求，所有需要在此基础上进行进一步的变形和热处理。中间完全退火的锻锭，经过道次变形量为10％，收稿日期：2011-04-18；修订日期：201

8、1-06-08总变形量为85％变形以后，然后切取(b6．5mm×作者简介：董亭义(1977一)，男，工程师，博士，电话：010-80103388—6021，E．mail：dty．_7702@163．COB。10mm样品做压缩试验，同时切取15mm×15mm×