超高温激光共聚焦显微镜.doc

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1、超高温激光共聚焦显微镜超高温成像加热实时数码紫色激光显微镜ＶＬ２０００ＤＸ-ＳＶＦ系列超高温成像加热观察紫色激光显微镜ＶＬ２０００ＤＸ-ＳＶＦ１７ＳＰ（室温～1700℃：Ｒ型热电偶）产品特征:◆采用1.5kw卤素光源红外反射集光，形成10mmφ×10mmh圆柱型超高温加热空间。◆可对应于惰性气体、大气、真空、还原性气体的气密构造椭圆球形反射集光室。◆没有多余的加热物和构造物、由隔离的光源进行成像加热，实现了高纯度的氛围｡◆真空度可达10-２Pa，另外高纯度惰性气体精制滤膜的使用，可以防止试样氧化。◆观察窗气流吹扫方式的采用

2、，使得窗上不会附着升华物，能够长期保持清晰的观察效果。◆可以超高速升温、降温，在温度程序控制下可以手动以0.1℃为单位控制温度。◆加热速度快，可在30秒内由室温加热至1600℃。采用He气体压入式急冷机构时最快可以达到-100℃/sec的急速冷却。◆温度控制程序有16个模式、16区间，以及在监视器上简单地实现PID设定。◆试料容器(坩埚)：氧化铝、白金制φ5、φ6.5、φ9。◆ＳＶＦ系列采用了VL2000DX的高画质１×～８×调焦功能，标准配置为10×和20×超长工作距物镜。另外，也准备了5X、35X、50X的物镜。◆VL

3、2000DX为紫色激光，波长为408nm。它可以实现最快120桢/秒的高速扫描，从而对于快速变化的状态也可跟踪。根据像素数可选择60Hz､30Hz､15Hz的扫描频率。◆高精细的数码动态图象可以用最大1024×1024像素进行表现，根据扫描速度，像素也可以分别为1024×512、1024×256、1024×128。表现模式有普通和插值模式(1:1表示)。◆鲜明的数码图像可以长时间地录制在系统的PC中，有间断录像、指定时间/指定温度域的录像模式，可以防止不必要的录像、以便有效的观察和编辑。◆标准物镜不适用于高温观察，在室温观

4、察时，可以更换标准物镜，利用激光共聚焦显微镜的功能，在更高倍率，更高清晰度下处理三维图象信息，进行三维测量(形状测量、表面粗糙度、表面状态分布测定)。产品用途：材料研究与开发领域的理想工具。如对材料组织结构变化（熔融、凝固、结晶等）的实时、高清晰观察与分析。本系统由高温加热炉和激光共聚焦显微镜两大部分组成。激光共聚焦显微镜具有超越一般显微镜的景深和高质量的图像。该显微镜采用紫色激光器扫描照明成像，波长408nm，扫描速度每秒120桢，最高分辨率0.14μ。可以在室温～1700℃的温度变化范围内，不需对试样进行预先处理（导电

5、、非导电试样均可直接观察、测定，不需繁杂的事先处理，同时避免了试样预处理造成的失真）。在计算机的控制下对试样的表面进行实时的三维观察、记录和存储。无论炉中采用真空，还是采用空气、活泼性气体、氩气、氮气等气体，均可简单的进行观察。本系统还配有功能强大的软件系统，可满足操作、分析的各种需求。高温炉采用红外集光加热的方式，升降温速度快，升降温过程还可以由程序控制任意设定，既可以急剧升降，也可以缓慢升降（0.1℃）。超高温观察激光共聚焦显微镜是材料研究的理想工具。基本构成：ＶＬ２０００ＤＸ　实时紫色激光显微镜：VL2000紫色激光

6、摄像头，MC1000A控制器、表面形状测定以及焦点·辉度调整远程控制箱软件　：VL2000DX控制基本软件、温度控制软件、图像录像・温度时间数据记录软件、三维图像处理软件ＳＶＦ１７ＳＰ超高温成像加热炉：红外集光加热观察炉SVF17SP、数码温度调控机(2.0kw电源、带安全回路)ＳＶＦ-ＩＭ３　　VL2000DX-SVF专用光学显微镜基：光学显微镜、物镜TOS10X、TOS20X(选项可配装2X、5X、35X、50X）X‐Y电动工作台以及X‐Y手动工作台、卤素光源冷却用送风机、排气装置(带排气口逆止阀、真空阻断阀、压力计)

7、选项：真空排气装置(涡轮分子泵型、油回转泵型等)、空气垫式防振台(台式、桌式、手动水平型、自动水平型等)、高纯度惰性气体精制过滤板(干柱〈drycolumn〉、用精制滤膜可生成1ppb等级气体、阀门、流量计、逆止阀等构成)，普通观察･测定用物镜10X、20X、Apo50X、100X(与三维图像处理软件LMeye一起使用时有效)、高温共聚焦显微镜设置用坚固型工作台(W900XD700以上)、控制部分用工作台(W900XD600以上)、配管装置。消耗品：试样容器φ9.0氧化铝坩埚(内径φ8.0×深3.5mm)、φ6.5氧化铝坩

8、埚　(内径φ5.5×深3.5mm)、φ5.0白金坩埚　　　　　　　　试样夹具(R型热电偶、B型热电偶)1.5kw卤素光源、卤素灯保护石英管、观察窗用石英板特别规格：氛围气体压送式急冷机构(最快-100℃/sec、He气有效)　　　　　　　　　试料表面温度测定用热电偶端子台(用2对热电偶可以对观察表面温度