真空知识汇总.doc

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1、真空知识总结真空度的划分1粗真空  （RV）   105-103Pa常用的真空度侧量仪表弹性真空表  U型管真空计放电能电离真空计振膜式真空计常用真空泵往复式真空泵水蒸汽喷射泵水环泵2低真空（LV）10^3torr=133*10^3Pa=1.33Pa103-10-1Pa常用的真空度侧量仪表热导式真空表压缩式真空计放电能电离真空计振膜式真空计薄膜式真空计放电管真空指示仪表常用真空泵旋片式真空泵定片式机械泵滑阀泵油增压泵机械增压泵吸附泵3高真空  （HV）   10-1-10-6Pa常用的真空度侧量仪表电离真空计冷阴极电离真空计常用真空泵油扩

2、散泵涡轮分子泵4超高真空  （UHV）   10-6-10-9Pa常用的真空度侧量仪表B-A电离真空计常用真空泵钛离子泵加冷阱扩散泵5极高真空  （和HV）   10-9Pa常用的真空度侧量仪表冷阴极磁控电离真空计热阴极磁控电离真空计改进B-A电离真空计常用真空泵低温泵真空泵的主要工作参数1起始压力（前置低压力或预置真空）是真空泵启动或正产工作时的最高压力，油封旋转机械泵可以在大气压下启动，而罗茨风机必须在102-103Pa下才能启动2抽气速率（S）是指在某一瞬间压力下，单位时间抽出气体的体积。也叫真空泵的抽气能力。3极限真空，（P0），

3、或极限压力，是指在真空泵规定工作条件时，抽气稳定时所能达到的最低压力，极限真空是直接反映真空泵和整个真空系统的质量和状态的一个主要性能指标。国产真空泵的名称，性能往复泵旋片泵滑阀泵机械增压泵分子泵油增压泵扩散泵水环泵水蒸汽喷射泵真空，真空度，真空仪表工业上的真空指的是压力低于一标准大气压的稀薄气体空间状态真空分为自然真空和人工真空地面高度升高自然形成的低压空间称为自然真空，用真空装置或方法产生的低压空间，称为人工真空。真空度是表示气体稀薄的程度，也是压力的高低气体越稀薄，压力越低，真空度约高。气体压力越高，真空度约低。低压力与高真空式同义

4、词，真空的单位习惯用液柱高度-毫米汞柱作为真空度的计量单位。1Torr=1mmHg=133.3Pa1971年，国际计量大会确定国际单位制中的压力单位为帕斯卡，真空度的单位为-帕（Pa）大气压强为1.01X10^5Pa