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1、KLA报警处理..一.KLA2135报警处理二.KLA2138/39报警处理三.KLAAIT报警处理四.Tencor6420报警处理五.KLASP1报警处理1.手动退片(wafer在stage上)A.Initstage(calibration→InitSystem→Initstage)B.Initrobot(calibration→InitSystem→Initrobot)C.如果故障期间没有移动cassette,run→more→unload,一般情况下都可以解决问题D.如果故障期间移动了cassette,或者按照C的做法无法退出wafer.calibration→manualload/u
2、nload→manualunload.这种方法只能将wafer退到手臂上,然后在manualload/unload→vacuumoff.关掉真空后,需要用手取下圆片.操作时只要谨慎些,一般不会造成wafer的划伤和沾污,用手取片的时候也有足够的空间来操作.E.如果上述方法都无法退出stage上的wafer,出现vacuum或者其他的报警,这时stage已经走到了unloadposition,只需要将stage的真空关闭就可以用手取片,这时主要是圆片上方空间比较狭窄,两只手夹住wafer边缘,即可将wafer抽出来,切忌不可用单手拿,很容易划伤.一.KLA2135报警处理二.KLA2138/3
3、9报警处理1.手动退片由于2138/39使用的是NT的系统,操作起来相对简单,下图是手动load/unload的界面.WaferhandlingKLA2138/39报警处理A.尝试waferunload来退出在stage或者robot上的waferB.如果waferunload无法退出wafer,用AutomaticwaferrecoveryC.如果wafer在手臂上始终无法退回cassette,在advanced的下拉菜单中可以控制robot的vacuum,关掉vacuum就可以手动取片.KLA2138/39报警处理2.roboterror当机台在做片时出现报警,手臂处于非正常位置,比如插
4、在cassette里没有退出来,calibration→InitSystem→Initrobot,执行这个操作的时候,必须确认cassette的位置正常,手臂没有送错slot位,没有擦片或者碎片.KLA2138/39报警处理3.PC死机2138和2139的PC差别不大,由于使用的是NT的系统,所以处理死机的故障跟我们使用自己的电脑没有什么不同.A.任务管理器,关闭当前使用的软件B.如果键盘和鼠标都没有响应,将下方机台面板打开,2138是一个黑色的按钮,关闭再打开即可;2139是一个红色的按钮,按一下即可.三.AIT报警处理1.系统初始化.AIT的系统初始化要分别通过三个软件实现在进行初始化的
5、时候必须关闭AIT测片的软件.初始化的三个软件分别是DPBTest,Stagetest,Robot,他们都放在桌面上的AITServiceProgram文件夹内.AIT报警处理A.双击DPBTest,程序会自己运行,结束后会显示以下的画面,关闭程序需要按两次Alt+F4.AIT报警处理B.双击Robot，出现以下画面打开程序之后，首先要确认当前手臂的设置是对应６”还是８”，如果显示是８inch,Ctrl+N更改设置,6inch对应的是150,确认之后，按Ctrl+E,初始化手臂．完成之后，会提示“HOMENoerror”.AIT报警处理C.双击Stagetest,会出现以下画面单击键盘“Ｈ”
6、键，stage会自动初始化，最终位置如图所示．AIT报警处理2.手动退片更换软件的模式到engineermode,密码tencor.load任意一个产品菜单,放一个空的片架上去,打开handler的下拉菜单,选择unload,如果片子在stage上可以按上述方法操作,如果片子在手臂上就只能用手拿了.AIT报警处理退出wafer之后,一定要删除一个报警文件.文件路径如图所示.操作步骤:关闭测片软件→删除hstate04.dat→初始化机台→打开测片软件.四.Tencor6420报警处理1.手动退片放一个空的片架上去,点击软件上方的“HOME”,机台会先对空的片架做一个扫描,让你选择一个slot
7、位.Tencor6420报警处理2.软件有报警无法正常使用在软件中点击”LOGOFF”,这时软件会退到让你输入登陆密码的界面,点击”shutdown”,等待提示”safetoshutdownthecomputer”,在机台面板上有一个黑色reset键,提示出现之后,按下此键,进入windows界面之后,打开6420的软件即可.五.KLASP1报警处理1.手动退片KLASP1报警处理不论wafer是在stage
