声表面波器件的模拟与仿真

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1、天津理工大学硕士学位论文声表面波器件的模拟与仿真姓名：朱树众申请学位级别：硕士专业：物理电子学指导教师：杨保和201112 模型、����／������多层膜结构的频散效应、声表面波器件的有限元仿真等内容。其主要工作包括：曲线。此外，我们还详细介绍了����和����鷒�材料常数的计算。声表面波有限元多层膜克里斯托夫方程谐振器 ��������������������������曲�������甌���������������������������������／�������������現�������印������������������

2、�甧����������／�����������舯�����隔�緎���������’������������甧����川�譽�肛髑．���痵����叮�����哕�����．���������餷���．�����舭�锄�����籹���������鷇�����縨�����，����籹��；�仔��������觚���，�—����������������� 第一章绪论和波长小十万倍，这对实现电子器件的小型化很有利；和可靠性：要无线频谱宽度更大和通信频段更高。声表面波器件因具有宽带大、通带选择性良好、�世纪�年代前，广范采用金属外壳封装形式的

3、声表面波器件，后来，为了降低 第一章绪论��声表面波的发展概况及仿真技术研究现状系统。声表面波识别系统也在此阶段问世。研究。浙江大学的朱大中教授等在��年提出�退��飞�砻娌ㄆ骷】，在��年人主要从事金刚石多层膜结构的声表面波器件的研究，这些年来在这方面取得了不小的成就��长度，���纳�ㄔ丛诖怪庇诓嬷傅缂ǖ姆较蚍⑸渖�砻娌ā璊。�����热擞���暝�函数模型基础上提出了脉冲响应模型。又指的几何结 第一章绪论和能量存储效应。该模型用体声波的梅森����刃У缏防疵枋鯯�器件，将繁�扒鷗将其用来分析声表面�岢鯬矩阵模型，该模型是耦合模模型的系

4、数矩阵形式。通过周期格林函数，可以求解出周期栅阵中的电荷分布和电流，还可以分析周期栅阵中置的电学量和力学量。这也是有限元一边界元法的核心【��思想。踟�盚�����步杓鳥����对周期栅阵的解决办法与广义格林函数的方法， 第一章绪论表面波器件的零频率带宽进行了分析，后来又对传统等效电路模型引入相速度频散因果更加相符。��选题的依据及研究内容制作高频声表面波器件，有两个方向努力：一，发展更加先进的半导体平面工艺，制作多层膜结构具有频散效应，器件性能受膜厚的响应较大，因此，对多层膜结构声表 第一章绪沦面波器件的精确仿真模型进行研究具有重大意义。本

5、文主要围绕声表面波谐振器展开，有关的仿真也主要以谐振器为主。本论文主要完成工作如下：有良好的频率选择性。在第四章，我们建立了����／����鷒�多层膜的克里斯托夫 第二章声表丽波的基本仿真模恻第二章声表面波的基本仿真模型母一条义捂电檄口�杂酶玫缦�咴荡Φ那��幽毅户辐射源采捕述，因此，中心在‘�颉緁一互�怠�万【�焕糒二翌—兰�，�．��．�砌�笛胁钒隡卜半弦％�．� ��箩竺竺三竺：等笔幽工���尝�置�‘与�的电极极性有对应关�厂�厚姑骵��衒��万��】�厂�窆磊��／等硼��钪惫鄣姆治瞿Ｐ汀Ｂ龀逑煊δＰ偷幕�舅枷胧牵篒�的●��∑�

6、一�”万�—���等效电路模型 第二二章声表面波的基本仿真模型⋯�～一一———————————————————————————————————————————————————一图����募し⒌绯》植��真实场��灰宄��共线场一一一一～� 第：二章声表面波的荩本仿真模刑�嘉厶�慧�去�一个周期的等效电路 第．：章声表面波的基本仿真模删’’’声学端图����瓦考丢；并联的三端口网络来描述，如图�．�所示，其网络方程为：阱�綸立元素，可表示为：】�海�艺。、���！⒈��骸�，�籏，。其独立矩阵元的表达式为：誓�低��驴√�辔等参数，但是计算量通

7、常很大，在��纳��狡德矢浇�保�綴】导纳矩阵元可以进一步 第一：章卢表面波的基本仿真模耻—————�!!!!��———��—一��———————————。。‘’‘—‘。。。—’—。。—。⋯—————————————’—一�����。≈丧����三�≈击Ⅳ仃秒����●�篢�一．卜一÷图���Ф似ヅ涫保琁�等效电路厶��专巧一专州�电学端的输入导纳：�国，�綥‰��Ⅳ�／‰����雚 珏���一���％删�卣笫且桓�宰�木卣螅�荂�模型的系数矩阵【�АＫ�袸�看作一个三端口图����腜矩阵模塑��腜矩阵为：阱巨曼，掌公式中：派��������

8、����騭���．�． 第二章声表面波的基本仿真模型������騭�����本章小结在本章中，我们详细介绍了声表面波唯象模型。脉冲响应模型是声表面波��钪惫鄣姆治瞿