声表面波器件设计方案课件.ppt

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1、声表面波器件设计方案声表面波器件线激励长度：1843.2*2(um)两线激励间距：689.475*2(um)声表面波原始器件参数方案一：在声表面波器件两侧加弧形排列的小圆柱基体材料：铌酸锂微结构材料：金属镍结构参数：小圆半径：50um每隔0.4°旋转一次效果展示：方案二：在声表面波器件两侧添加小圆柱构成的弧形微结构基体材料：铌酸锂微结构材料：金属镍小圆半径：48um每隔0.5°旋转一次效果展示：方案三：石墨烯结构声场优化(a)基体材料：铌酸锂微结构材料：金属镍结构参数：石墨烯（六边形）结构效果展示：方案四：石墨烯结构声场优化(b)基体材料：铌

2、酸锂微结构材料：金属镍结构参数：石墨烯（六边形）结构效果展示1：效果展示2:方案五：在声表面波器件中心上加一个空心椭圆柱并在两侧加弧形排列的小圆柱基体材料：铌酸锂微结构材料：金属镍结构参数：小圆半径：50um每隔0.4°旋转一次外圈椭圆参数：a半轴300umb半轴1000um内圈椭圆参数：a半轴200umb半轴800um效果展示：方案六：在声表面波器件中心上加两个空心椭圆柱并在两侧加弧形排列的小圆柱基体材料：铌酸锂微结构材料：金属镍结构参数：小圆半径：50um每隔0.4°旋转一次外圈椭圆参数：a半轴300umb半轴500um内圈椭圆参数：a半

3、轴200umb半轴400um效果展示1：11.867MHz效果展示2：11.071MHz方案七：在声表面波器件中心上加三个三层空心椭圆柱并在两侧加弧形排列的小圆柱基体材料：铌酸锂微结构材料：金属镍结构参数：小圆半径：50um每隔0.4°旋转一次椭圆参数：三层效果展示：拓展思维癌症治疗方案八：加双层环状结构—内层为小圆柱排列而成的圆环，外侧为空心圆柱基体材料：铌酸锂微结构材料：金属镍结构参数：外圈圆半径：600um内圈圆半径：450um小铜柱半径：20um旋转角度：12°效果展示1：12.851MHz效果展示2：13.85MHz效果展示3：15

4、MHz效果展示4：13.8MHz效果展示5：13.66MHz方案九：在声表面波器件中心上加三层环状结构—最内层为空心圆柱；次内层为圆柱排列而成的环状结构；最外层为空心圆柱。基体材料：铌酸锂微结构材料：金属镍外侧圆环半径：600um内侧圆环半径：450um圆柱半径：20um每隔12°旋转一次最内侧圆环半径分别为：100um和120um效果展示：方案十：在声表面波器件中心上加三层环状结构—最内层为空心圆柱；次内层为圆柱排列而成的环状结构；最外层为空心圆柱。两侧有弧形小圆柱构成的微结构基体材料：铌酸锂微结构材料：金属镍外侧圆环半径：600um内侧圆

5、环半径：450um圆柱半径：20um每隔12°旋转一次最内侧圆环半径分别为：100um和120um微结构中的圆半径：15um效果展示：