海外培训成果发表会

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1、經濟部培訓科技背景跨領域高級人才計畫海外培訓成果發表會WTC對新興產業之影響─以MEMS為例指導教授：吳豐祥博士（政治大學科技管理研究所副教授）報告撰寫者：李和澤（產協企業專員）盧添榮（錸寶科技智權法務室副理）伍孝全（國喬石化研究發展組研究員）方亮淵（潤泰集團特別助理）林浩鉅（經濟部技術處技正）WTC對新興產業之影響─以MEMS為例目錄第一章緒論第一節研究背景………………………………………………………5-2第二節研究動機………………………………………………………5-4第三節研究目的………………………………………………………5-5第四節論文架構………………………………………………………5-5

2、第二章相關背景簡介第一節WTC簡介……………………………………………………..5-6第二節MEMS產業簡介………………………………………………5-14第三節台灣微機電教學資源簡介…………………………………….5-17第四節科專計劃簡介………………………………………………….5-24第五節產學合作簡介………………………………………………….5-29第三章研究方法與設計第一節歡念架構……………………………………………………….5-32第二節研究方法……………………………………………………….5-33第三節研究流程……………………………………………………….5-34第四章WTC作業機制及個案整理

3、第一節WTC三種資助計劃….……………………………………5-35第二節Microfab-Lab實驗室……………………………………...5-42第三節個案公司(1)Microvision…………………………………..5-44第四節個案公司(2)Micronics..……………………………………5-47第五節WTC─MENS之推動…………..…………………………5-51第六節WTC─華盛頓州發展績效………………………………..5-53第五章結論與建議第一節結論…………………………………………………...5-58第二節建議…………………………………………………...5-61第六章附錄及參考資料5

4、-1WTC對新興產業之影響─以MEMS為例第一章緒論第一節研究背景微機電系統(MicroElectro-MechanicalSystems)，簡稱MEMS，在世界各國已公認是21世紀產業的主流之一，其發展起源於結合半導體製程技術與精密機械技術，研發微小的生機光電元件，及功能整合的微系統。根據"WorldMicromachineandMicrostructureMarket"報告統計，微機電元件全球市場2002年將高達80億美元，若包含其技術支援性產品，更可達數百億美元。早在1990年，日本就選為前瞻工業技術，以國家型10年研究計劃投入研發。歐洲地區也成立跨國研究計劃及多項區域製作中心。美國

5、在1995年後政府逐漸重視微機電科技，經由NSF、DARPA、NIST等研發基金，積極推動研發計畫。微機電系統MEMS是一種能夠產生預期動作之細小系統，其典型尺寸隨著科技的進步，逐漸邁向更細小精巧化，以今日的技術，已能製造直徑0.1毫米之微型馬達與渦輪機。系統微小化有許多優點，如節省空間、節省材料、低污染、節約能源，更重要的是如果技術成熟，還可以非常經濟的大量生產。微機電系統的發展，可以追溯到二百年前，1965年諾貝爾物理獎得主理查‧費因曼(RichardFeynman)在1960年的一席演講中，清楚的勾繪出微機電系統發展之具體藍圖。拜半導體製程技術迅速發展之賜，80年代起微機電系統的研究

6、也逐漸成熟，今天，假科技之手開發出具有活力的微小機電系統，豈祇是「精雕細琢」所能形容，更可與「造物者」的神奇相媲美。1990年微機電系統受科技先進各國大量投資支持以來﹐此領域被視為21世紀產業之另一顆新星﹐為毆﹑美﹑日各國﹐期望繼續科技領先之高整合性科技。它整合了機構﹑材料﹑光學﹑半導體製作技術﹑及信號處理﹐甚至能源傳輸問題。它的應用更是含蓋通訊﹑電腦﹑醫療﹑航太﹑汽車﹑家電﹑化學﹑環保等各行業。其成果在1995年德國Stuggart國際微工程（MicroEngineering）展覽及研討會上表露無餘。不論在醫療技術之改進（endoscopy）﹑日常與人接觸之各種化學藥品之偵測（micro

7、-spectrometer）﹑汽車各種自動化甚至智慧型汽車之研發（auto-driving）﹑通信器材之光電另件（fibercoupler﹑micro-switch）﹐及微系統之自動組裝設備等研發均有傲人之成就。全世界目前微機電系統之總產值預計於2002年將達80~100億美元﹐其成長率約每年10~20%。而使用微機電系統之產品總產值更高達數千億美金。各種以微機電系統技術加以改良之傳統裝置（如電腦週邊設備、通信、醫療、交