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1、.电镀药水化验操作规制作单位：品保部文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版本号：D1总页数：第05-1页共10页工序槽名体积分析项目控制围分析频率分析方法及计算公式化学沉铜线PTH清洁1线886L2线820LCD-2100.16-0.24N1次/班(1)取5ml槽液加入250ml锥形瓶中加50ml纯水及甲酚红指示剂用0.1N盐酸滴至绿黄为终点体积为V(2)计算:CD-210(N)=0.2*N*V(3)补加:CD-210(L)=(0.20-测)*0.263V槽微蚀1线886L2线900LSPS
2、65-95g/l3次/班(1)取样品2ml加DI水50ml、10%H2SO410ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml.(2)用0.1NKMnO4滴定至浅红色为终点,滴定毫升数A.(3)取DI水代替样品,重复上述步骤,滴定毫升数为B.(4)计算:SPS(g/l)=5.95(B-A)(5)补加:SPS(kg)=(80-测)*V槽/1000H2SO42.0-3.0%(1)取样品2ml加DI水50ml,加入甲基橙指示剂3-4滴.用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数为V.(2)计算H2
3、SO4(%)=1.33NV%(3)补加:H2SO4(L)=(2.5-测)*V槽/100Cu2+≤25g/l(1)取样品2ml加入DI水50ml,加入20mlPH=10的缓冲液,加PAN指示剂2-3滴用0.05NEDTA-2Na滴至黄色即为终点.(2)计算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2微蚀速率30-50U"1次/班(1)取a×bcm的覆铜基板经酸性除油水洗在120℃烘干30分钟,冷却称重W1.(2)经微蚀槽(与流程微蚀槽时间一样)水洗,吹干在120℃烘干30分钟,冷却称重W2.(3)计算:U"=(W1-W2)*
4、106/（2ab*8.92*2.54）电镀药水化验操作规制作单位：品保部文件编号：QY-QA3009-05Word资料.制作日期：2010/01/20版本号：D1总页数：第05-2页共10页工序槽名体积分析项目控制围分析频率分析方法及计算公式化学沉铜线PTH化学铜(1线2000L2线2526L)Cu2+1.8-2.2g/l3次/班(1)取试样20ml于锥形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色，加10%KSCN20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸钠滴至白色为终点，体积为V。(2)
5、计算:Cu2+(g/l)=3.175*N*V.(3)补加：EC-251A(L)=(2-测)*26.67NaOH8-10g/l(1)取试样5ml加50mlDI水以0.1NHCl滴至PH=10.5,滴定毫升数为A,加10ml10%Na2SO3用0.1NHCl滴至PH=10.5滴定数为B(2)计算:NaOH(g/l)=8*A*NHCHO(g/l)=6*B*N(3)补加:EC-251B(L)=(9-测值)*6.67EC-251C(L)=(6-测值)*8.33HCHO5-7g/l络合剂>0.05N(1)取5ml槽液放入锥形瓶中加
6、0.2gMX指示剂摇匀用0.01N硫酸铜标液滴至绿色为终点(2)计算:络合剂(N)=0.002v+0.0158Cu2+(3)补加:EC-251M(L)=(0.06-测)*2667沉积速率0.4-0.6μm1次/班(1)将a×b的无铜基板按化铜正常流程走出后,将试验板放入250ml烧杯中,加20mlPH=10缓冲液和7-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN指示剂用0.05NEDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V.(2)沉积厚度(μm)=635NV/(2ab*8.92)除胶渣总锰60-70g/l1次/班(1)取1ml
7、槽液于250ml锥形瓶中,加50mLDI水，加入10mL20%KI和10ml50%HNO3(2)用0.1NNa2S2O3滴至淡黄色加1%淀粉指示剂5-6滴,再用0.1NNa2S2O3滴至无色,记下一共所需毫升数.(3)计算:Mn(g/l)=31.6NV(4)补加:KMnO4(kg)=(65-测值)*V/1000水化验操作规制作单位：品保部文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版本号：D1Word资料.总页数：第05-3页共10页工序槽名(体积)分析项目控制围分析频率分析方法及计算公式化学沉铜线
8、PTH除胶渣(1线1800L2线2616L)六价锰<20g/l1次/班(1)取1ml槽液定容至1000ml容量瓶中,以纯水作参比,用玻璃比色皿取样.读取波长为540、610nm时的吸光度为A、B。(2)计算：Mn6+(g/l)=147.3B-13.6A(3)计算：Mn7+(g/l)=85.7A-170.1B七价锰35-55g/lN
