外差干涉纳米定位系统中pzt的迟滞特性研究

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5、fMasterofEngineeringChinaJiliangUniversityJune,2015中图分类号TP273学校代码10356UDC620密级公开硕士学位论文MASTERDISSERTATION外差干涉纳米定位系统中PZT的迟滞特性研究HysteresisCharacteristicsStudyofPZTinHeterodyneInterferometricNano-positioningSystem作者钱飞导师许素安副教授申请学位工学硕士培养单位中国计量学院学科专业检测技术与自动化装置研究方向精密检测与控制二〇一五年六月致谢本论文是在许素安教

6、授的悉心指导下完成的。在两年多的研究生学习阶段中，许老师在学习和生活上都给予了我很大的帮助。特别在课题的选择和实验研究阶段，得到了许老师的很大支持和指导，在论文的修改阶段，更是得到了许老师的耐心教导。在生活方面，教会了我很多为人处事的道理。正是许老师两年多来对我的帮助﹑支持和谆谆教诲，才使我能够顺利完成硕士研究生阶段的学习，并有一定的科研业绩。在此，请允许我对许老师表示由衷的感谢！感谢在线检测装备校准技术研究重点实验室的陈乐﹑孙坚﹑谢敏﹑富雅琼﹑黄艳岩等老师在课题研究中对我的帮助，感谢他们对我论文提出的宝贵意见！感谢一起度过了研究生学习生活的同学﹑朋友们，何

7、京徽﹑刘亚睿﹑曾钦清﹑熊晶晶﹑沈红源﹑汪旭莹等，感谢他们对我的帮助！感谢我的父母一直以来对我的支持，正是你们对我的关爱和鼓励，才有了我一直往前走的勇气和毅力，才能让我顺利完成研究生阶段的学业！由衷得感谢在百忙之中参与论文评审和答辩的各位老师们！最后，感谢所有帮助过我的老师﹑同学和家人们，祝愿你们健康快乐！钱飞2015年6月外差干涉纳米定位系统中PZT的迟滞特性研究摘要：随着超精密加工等高新技术工业领域的进一步发展，其对有关设备的运行和定位精度提出了更高的要求，因此对微定位器的研究得到了越来越多的关注和投入。而压电致动器由于具有位移分辨率小、刚度大等优点，成为

8、当前精密定位系统中较合适的致动器件。但压电致动器中还