脉冲电镀的正向电流密度对深镀能力的影响.pdf

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1、…………⋯⋯⋯⋯MSuemtamllizaaritzioantio&nP&laCtinogm⋯⋯⋯⋯ment⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯孔综化述与与电评脉冲电镀的正向电流密度对深镀镀论……………………………………………………………………………………………能力的影响（深圳市华祥电路科技有限公司518052）黄鹏飞摘要主要通过在正反向电流比、频率、脉冲宽度一定的条件下，改变正向电流密度的大小来研究其对PCB整板电镀铜深镀能力的影响。从测得的数据可知随着正向电流密度的增大，深镀能力先变大后变小，并对这个问题进行了理论分析。关键词反向脉冲电镀深镀能力脉冲宽度频率TheEff

2、ectofForwardCurrentDensityofPPRonThrowingPowerHuangPengfeiAbstractThepapermainlyaboutwiththeratioofforwardcurrentdensitytoreversecurrentdensity,frequency,pulsewidthchangeless,bychangingtheforwardcurrentdensitytoresearchthethrowingpowerofPCBpanelplating.Wefindthatwhenincreasingtheforwardcur

3、rentdensitythethrowingpowerwillbecomehigherandthenfalloff,andgivetheproperexplanation.Keywordsperiodicpowerreversepulseplatingthrowingpowerpulsewidthfrequency1前言镀铜层的厚度。在HDI印制板生产过程中，孔化电镀后的细影响周期性反向脉冲电镀铜深镀能力的影响因线条（≤4mil）制作，由于蚀刻侧蚀（undercut）素如下面鱼骨图（图1）所示。问题，一直是个很难解决的问题。解决这一问题的方法，一是在保证孔铜厚度不变的情况下

4、，尽可能降低板面镀铜层厚度，即提高其深镀能力；二是使板面镀铜层厚度尽可能一致，即均匀性要好。对于图形电镀来说，特别是线路间隙太小（≤4mil）的板。为减少夹膜问题，提高深镀能力显得尤其重要。周期性反向脉冲电镀铜工艺的出现，从一定程30度上改善了这些问题，因为采用周期性反向脉冲电镀可使小孔中镀铜层的厚度接近甚至超过表面图1影响深镀能力的因素PrintedCircuitInformation印制电路信息2006No.1……………⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯SummarMizeataiollniz&atCioonm&mPelantin⋯⋯g⋯⋯⋯针对以前的测试数据

5、及经验，本次试验主要研2.3.1深镀能力测试方法究脉冲电源各个参数对其深镀能力的影响。首先通过采用金相切片的方法测脉冲电镀试验板的深镀综孔单因素优化的方法，分别确定正向电流密度、频率、能力，切片示意图如图3所示，深镀能力计算方法如脉冲宽度、正反向电流密度比对深镀能力的影响，再公式（1）所示：述化通过多因素优化的方法，确定这四个因素的交互作用(E+F+G+H+I+J)/6与深镀能力=×100％⋯⋯（1）与对深镀能力的影响。在确定正向电流密度的增大，深(A+B+C+D)/4评电镀能力先增大后减小。2试验描述论镀2.1试验条件………………………………………………………………………

6、………………测试是在华祥脉冲电镀线上实施的，试验板规格如表1所示，正反向脉冲电流参数如表2所示。图3切片示意图表1试验板规格尺寸板厚孔径Φ铜箔厚厚径比20in×16in2.0mm0.25mm1oz8:1表2脉冲电流程序编号正向电流/ASD反向电流/ASD频率/Hz脉冲宽度/ms电镀时间/min11.54.54810009522.06.04810007232.57.54810005843.09.04810004853.510.5481000412.2试验方案2.3.2测试结果2.2.1简明工艺流程测量点取图2所示的9个钻带上相同位置的点，开料→钻孔→沉铜→脉冲电镀→烘干→测试

7、然后求其平均值，结果如表3所示。2.2.2脉冲电镀试验方案表3深镀能力测试数据记录表脉冲电镀夹板方式如图1所示，每次只取下试验正向电流密1.52.02.53.03.5板，假镀板位置不变，板与板之间没有间隙。理论值度/ASD按25mm电镀，每次只改变正向电流密度大小，正反深镀能力/%99.91103.93107.05105.50100.90电流比为1∶3，频率为48Hz，脉冲宽度为1000ms。3理论探讨由上面的测试数据可知，在正反向电流密度之比、频率、脉冲宽度一定的条件下，随着正向电流密度的增大，深镀能力先增大后减